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(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 20221076273 3.3 (22)申请日 2022.06.30 (71)申请人 哈尔滨工业大 学 地址 150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区西 大直街92号 (72)发明人 李兴冀 张英涛 徐晓东 刘研  (74)专利代理 机构 北京隆源天恒知识产权代理 有限公司 1 1473 专利代理师 丁晴晴 (51)Int.Cl. G06F 30/20(2020.01) G06K 9/62(2022.01) G06Q 10/04(2012.01) G06F 17/18(2006.01) G06F 119/14(2020.01)G06F 111/10(2020.01) (54)发明名称 一种基于空间辐照的PKA信息的智能预测方 法及系统 (57)摘要 本发明提供了一种基于空间辐 照的PKA信息 的智能预测方法及系统。 所述方法包括: 从数据 集中获取样 本数据, 并将所述样 本数据划分为训 练集和测试集, 所述样本数据包括入射粒子的信 息以及入射粒子辐照器件后产生的PKA的信息; 定义所述训练集和所述测试集中分别使用的自 变量和因变量; 根据所述自变量和所述因变量建 立线性回归模型; 对所述线性回归模型进行评 估; 根据对 所述线性回归模型的评估 结果确定线 性回归的预测次数。 本发明通过人工智能计算和 预测仿真方法, 可以预测不同辐照条件下材料产 生的PKA相应信息, 进而分析PKA信息对半导体器 件辐照损伤过程的影响, 为器件辐照损伤实时性 分析、 材料选 取提供重要依据, 且预测效率高、 成 本低。 权利要求书2页 说明书5页 附图2页 CN 115203917 A 2022.10.18 CN 115203917 A 1.一种基于空间辐照的PKA信息的智能预测方法, 其特 征在于, 包括: 从数据集中获取样本数据, 并将所述样本数据划分为训练集和测试集, 所述样本数据 包括入射粒子的信息以及入射粒子辐照器件后产生的PKA的信息; 定义所述训练集和所述测试集中分别使用的自变量和因变量; 根据所述自变量和所述因变量建立线性回归 模型; 对所述线性回归 模型进行评估; 根据所述线性回归 模型的评估结果确定线性回归的预测次数。 2.根据权利要求1所述的基于空间辐照的PKA信息的智能预测方法, 其特征在于, 所述 将所述样本数据划分为训练集和测试集包括: 采用交叉验证方法对所述样本数据进行划 分。 3.根据权利要求1所述的基于空间辐照的PKA信息的智能预测方法, 其特征在于, 在所 述建立线性回归模型之前还包括: 根据所述入射粒子的信息判断是否对所述样本数据进 行 预处理, 若是, 则对所述样本进行预处理, 所述预处理包括数据归一化、 数据差分处理, 否 则, 基于所述样本数据建立所述线性回归 模型。 4.根据权利要求1所述的基于空间辐照的PKA信息的智能预测方法, 其特征在于, 所述 建立线性回归模型包括: 利用最小二乘函数对所述自变量和所述因变量之 间的关系进 行建 模。 5.根据权利要求1所述的基于空间辐照的PKA信息的智能预测方法, 其特征在于, 所述 建立线性回归 模型包括: 获取所述自变量与所述因变量之间的散点图; 获取所述散点图的信息层次; 根据所述信息层次判断是否建立回归曲线, 当所述散点图满足建模要求时, 建立所述 回归曲线。 6.根据权利要求5所述的基于空间辐照的PKA信息的智能预测方法, 其特征在于, 所述 信息层次包括所述散点图的线索趋势、 所述自变量与所述因变量之 间的相关性以及所述散 点图中偏离 趋势的强影响点的数量。 7.根据权利要求6所述的基于空间辐照的PKA信息的智能预测方法, 其特征在于, 所述 建模要求包括所述散点图具有线索趋势、 所述自变量与所述因变量之间的相关性是线性 的、 所述散点图中偏离 趋势的强影响点数量小于设定值。 8.根据权利要求5所述的基于空间辐照的PKA信息的智能预测方法, 其特征在于, 所述 建立线性回归模型还包括: 对所述回归曲线进行实测分析, 建立回归方程, 其中, 当所述自 变量为一个时, 所述回归方程 为 其中, x为所述自变量, 为所述因变量, θ为检验 回归系数, n为所述自变量的最高次方 的次数。 9.根据权利要求1所述的基于空间辐照的PKA信息的智能预测方法, 其特征在于, 所述 对所述线性回归模型进行评估包括: 采用平均绝对误差和均方误差对所述线性回归模型进 行误差计算。权 利 要 求 书 1/2 页 2 CN 115203917 A 210.一种基于空间辐照的PKA能量及分布的预测系统, 其特 征在于, 包括: 获取模块, 用于获取样本数据, 所述样本数据包括入射粒子的信息以及入射粒子辐照 器件后产生的PKA的信息; 划分模块, 用于将所述样本数据划分为训练集和 测试集; 变量定义模块, 用于分别定义所述训练集和所述测试集中的自变量和因变量; 模型构建模块, 用于建立线性回归 模型; 评估模块, 用于对所述线性回归模型进行评估, 并根据评估结果确定所述线性回归的 预测次数。权 利 要 求 书 2/2 页 3 CN 115203917 A 3

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