(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 20212340 5356.8 (22)申请日 2021.12.3 0 (73)专利权人 苏州博来纳润电子材 料有限公司 地址 215600 江苏省苏州市张家港保税区 科技创业园B幢3 07室 (72)发明人 张泽芳　彭诗月　 (74)专利代理 机构 上海伯瑞杰知识产权代理有 限公司 312 27 专利代理师 李庆 (51)Int.Cl. B08B 3/04(2006.01) B08B 3/08(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)实用新型名称 清洗抛光垫上碳 化硅抛光液的装置 (57)摘要 本实用新型提供一种清洗抛光垫上碳化硅 抛光液的装置， 包括一清洗槽、 一泵、 一电磁三通 和一万向水管； 所述清洗槽通过一隔板分隔形成 一水槽和一清洗液槽； 所述水槽和所述清洗液槽 分别通过一第一连接管连接所述电磁三通的两 入口， 所述电磁三通的出口通过一第二连接管连 接所述万向水管； 所述第二连接管上安装有所述 泵。 本实用新型的一种清洗抛光垫上碳化硅抛光 液的装置， 可在清洗液和清水两种模式中切换， 自由控制清洗步骤， 不仅可以用于清洗碳化硅抛 光液， 还可以用于一般抛光液的清洗 。 权利要求书1页 说明书2页 附图1页 CN 217141451 U 2022.08.09 CN 217141451 U 1.一种清洗抛光垫上碳化硅抛光液的装置， 其特征在于， 包括一清洗槽、 一泵、 一电磁 三通和一万向水管； 所述清洗槽通过一隔板分隔形成一水槽和一清洗液槽； 所述水槽和所 述清洗液槽 分别通过一第一连接管连接所述电磁三通的两入口， 所述电磁三通的出口通过 一第二连接管 连接所述 万向水管； 所述第二连接管 上安装有所述泵。 2.根据权利要求1所述的清洗抛光垫上碳化硅抛光液的装置， 其特征在于， 所述泵采用 蠕动泵、 气动隔膜泵或自 吸泵。 3.根据权利要求1所述的清洗抛光垫上碳化硅抛光液的装置， 其特征在于， 所述万向水 管的出水口采用扁嘴、 圆嘴或直角圆嘴。 4.根据权利要求1所述的清洗抛光垫上碳化硅抛光液的装置， 其特征在于， 所述第 二连 接管采用PU管。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217141451 U 2清洗抛光垫上 碳化硅抛光液的装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及碳化硅晶圆的化学机械抛光领域， 尤其涉及一种清洗抛光垫上碳 化硅抛光液的装置 。 背景技术 [0002]碳化硅作为第三代宽禁带半导体材料， 是当前半导体材料研究前沿和 产业竞争焦 点。 碳化硅衬底制作的关键工序之一， 就是衬底的全局平坦化， 而化学机械抛光(Chemical   Mechanical Polishing， 简称C MP)是目前实现大规模生产的全局平坦 化的唯一方法。 [0003]CMP技术是将抛光工件在一定的压力下相对抛光垫做旋转运动， 在抛光液的(由磨 粒、 各种化学添加剂和溶剂组成的混合液)作用下， 利用磨粒的机械磨削和化学添加剂的化 学腐蚀作用来实现对工件表面的材 料去除， 从而获得工件表面全局平坦 化的技术。 [0004]在加工过程中， 每一次抛光完后， 都需要清洗抛光垫和机台， 一般的做 法是放置毛 刷盘后， 用清水清洗 。 [0005]为了提高加工效率， 碳化硅抛光液一般为酸性， 并添加高锰酸钾， 利用酸性环境下 高锰酸钾的强氧化 性， 达到腐蚀碳 化硅晶圆的目的。 [0006]现有的清洗装置是连接水管， 用自来水清洗抛光垫和抛光机， 这种清洗方法只适 合清洗不含高锰酸钾的抛光液。 因为用清水无法将 高锰酸钾清洗干净， 需要先将 高锰酸钾 还原后再进行清洗 。 [0007]而所用的抛光垫绝大部分为无纺布聚氨酯抛光垫， 在抛光液和压力的作用下， 一 方面受到酸性和高锰酸钾的腐蚀作用， 另一方面高锰酸钾在抛光垫中的残留很难利用常规 清水洗盘去除， 大大增加了碳化硅抛光垫的磨损， 导致加工效率降低、 使用寿命减少， 直接 增加了加工成本 。 发明内容 [0008]针对上述现有技术中的不足， 本实用新型提供一种清洗抛光垫上碳化硅抛光液的 装置， 可在清洗液和清水两种模式中切换， 自由控制清洗步骤， 不仅可以用于清洗碳化硅抛 光液， 还可以用于一般抛光液的清洗 。 [0009]为了实现上述目的， 本实用新型提供一种清洗抛光垫上碳化硅抛光液的装置， 包 括一清洗槽、 一泵、 一电磁三通和一万向水管； 所述清洗槽通过一隔板 分隔形成一水槽和一 清洗液槽； 所述水槽和所述清洗液槽分别通过一第一连接管连接所述电磁三通的两入口， 所述电磁三通的出口通过一第二连接管连接所述万向水管； 所述第二连接管上安装有 所述 泵。 [0010]优选地， 所述泵采用蠕动泵、 气动隔膜泵或自 吸泵。 [0011]优选地， 所述 万向水管的出水口采用扁嘴、 圆嘴或直角圆嘴。 [0012]优选地， 所述第二连接管采用PU管。 [0013]本实用新型由于采用了以上技 术方案， 使其具有以下有益效果：说　明　书 1/2 页 3 CN 217141451 U 3