(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210672527.3 (22)申请日 2022.06.14 (71)申请人 广州大学 地址 510006 广东省广州市外环西路23 0号 (72)发明人 朱萍玉　程健明　林哲聪　刘顺　 卢焕朗　 (74)专利代理 机构 北京八月瓜知识产权代理有 限公司 1 1543 专利代理师 秦莹 (51)Int.Cl. G01N 3/02(2006.01) G01N 3/08(2006.01) (54)发明名称 一种小变形片状器件的位移精确加载及测 量装置 (57)摘要 本发明提供了一种小变形片状器件的位移 精确加载及测量装置， 包括： 底座、 第一孔位板、 第二孔位板、 第一压板、 第二压板、 滑轨、 限位扣 和数字式螺旋顶杆； 所述第一孔位板设置于所述 底座的顶部， 所述第一压板设置于所述第一孔位 板的顶部， 所述第二压板设置于所述第一压板的 顶部， 所述第二孔位板设置于所述第二压板的顶 部， 所述滑轨设置于所述第二孔位板的顶部， 所 述数字式螺旋顶杆设置于所述滑轨上。 本发明具 有结构简单、 操作便捷、 加载精度高等优点， 能够 实现对待测工件的多区域、 高精度位移加载， 适 用于片状 器件的小位移加载。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 115184132 A 2022.10.14 CN 115184132 A 1.一种小变形片状器件的位移精确加载及测量装置， 其特征在于， 包括： 底座(1)、 第一 孔位板(2)、 第二孔位板(3)、 第一压板(4)、 第二压板(5)、 滑轨(6)、 限位扣(7)和数字式螺旋 顶杆(8)； 所述第一孔位板(2)设置于所述底座(1)的顶部， 所述第一压板(4)设置于所述第 一孔位板(2)的顶部， 所述第二压板(5)设置于所述第一压板(4)的顶部， 所述第二孔位板 (3)设置于所述第二压板(5)的顶部， 所述滑轨(6)设置于所述第二孔位板(3)的顶部， 所述 数字式螺 旋顶杆(8)设置 于所述滑轨(6)上。 2.根据权利要求1所述的小变形片状器件的位移精确加载及测量装置， 其特征在于， 所 述第一孔位板(2)、 所述第二孔位板(3)、 所述第一压板(4)和所述第二压板(5)之间通过螺 栓连接。 3.根据权利要求1所述的小变形片状器件的位移精确加载及测量装置， 其特征在于， 所 述限位扣(7)包括： 限位板(7 ‑1)、 卡扣(7 ‑2)和安装孔(7 ‑3)； 所述卡扣(7 ‑2)设置在所述限 位板(7‑1)的四个角处， 并且 可滑动地扣合在所述滑轨(6)上； 所述安装孔(7 ‑3)设置在所述 限位板(7 ‑1)的中心位置， 所述数字式螺旋顶杆(8)通过所述安装孔(7 ‑3)与所述限位扣(7) 连接。 4.根据权利要求1所述的小变形片状器件的位移精确加载及测量装置， 其特征在于， 所 述数字式螺 旋顶杆(8)通过S PC接口线和串口转USB的组合与计算机连接 。 5.根据权利要求1所述的小变形片状器件的位移精确加载及测量装置， 其特征在于， 所 述滑轨(6)上设置有刻度。 6.根据权利要求1所述的小变形片状器件的位移精确加载及测量装置， 其特征在于， 所 述第一孔位板(2)及所述第二孔位板(3)采用金属、 碳纤维、 玻璃纤维、 树脂中的一种或几种 制成。 7.根据权利要求1所述的小变形片状器件的位移精确加载及测量装置， 其特征在于， 所 述第一压板(4)及所述第二压板(5)采用金属、 碳纤维、 玻璃纤维、 树脂中的一种或几种制 成。 8.根据权利要求1所述的小变形片状器件的位移精确加载及测量装置， 其特征在于， 所 述第一压板(4)和所述第二压板(5)之间设置有容纳腔， 所述容纳腔用于放置布设在被测工 件上的传感器连接线材。 9.根据权利要求8所述的小变形片状器件的位移精确加载及测量装置， 其特征在于， 所 述容纳腔的深度和宽度范围均为1 ‑2mm。 10.根据权利要求1所述的小变形片状器件的位移精确加载及测量装置， 其特征在于， 所述第一压 板(4)和所述第二压 板(5)之间可固定的片状 器件的厚度范围为1 ‑5mm。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115184132 A 2一种小变形片状 器件的位移精确加载及测量装 置 技术领域 [0001]本发明涉及位移加载实验装置技术领域， 尤其是涉及一种小变形片状  器件的位 移精确加载及测量装置 。 背景技术 [0002]位移加载实验装置是学校、 科研院所等企事业单位进行位移加载实验  的常见实 验装置。 现有的位移加载及测量装置大多采用电动、 液压或者热  应变等方式进行位移加 载。 对于电动或液压位移加载及测量装置， 虽然功  能完备， 可以进行位移控制和并直接连 接计算机实时记录位移加载数据，  但通常体积庞大， 使用步骤繁杂， 且设备成本巨大， 经济 效益低； 而对于  利用热应变手段的位移加载及测量装置， 则高度依赖于温度控制以及热膨   胀系数测量的精确度， 载荷调节和位移加载精度就愈发显得不足。 [0003]在精密仪器加工领域， 经常需要对一些微特征尺寸的结构进行高精度  的小位移 加载实验(如晶圆翘曲模拟实验、 微尺度梁变形实验等)， 加载精  度至少为0.05mm， 而仅靠 上述的位移加载及测量装置难以满足此类高精度  位移加载需求。 [0004]因此， 针对传统位移加载实验装置的不足， 研制一种结构简单、 操作  便捷、 载荷可 控且加载精度高的位移加载实验装置， 实现对被测器件的小  位移加载实验， 对精密仪器加 工领域具有重要意 义。 发明内容 [0005]为解决上述问题， 本发明提供了一种小变形片状器件的位移精确加载  及测量装 置， 通过数字式螺旋顶杆对被测工件进 行位移加载， 既可在数字  式螺旋顶杆上实时显示位 移加载数据， 也可连接到计算机上采集并记录位  移加载数据， 具有操作简单便捷， 加载精 度高等优点。 同时， 该装置能够  根据不同的位移加载需求， 通过改变数字式螺旋顶杆在滑 轨中的装夹位置，  实现对被测工件不同位置的灵活位移加载。 [0006]一种小变形片状器件的位移精确加载及测量装置， 包括： 底座、 第一  孔位板、 第二 孔位板、 第一压板、 第二压板、 滑轨、 限位扣和数字式螺旋  顶杆； 所述第一孔位板设置于所 述底座的顶部， 所述第一压板设置于所述  第一孔位板的顶部， 所述第二压板设置于所述第 一压板的顶部， 所述第二  孔位板设置于所述第二压板的顶部， 所述滑轨 设置于所述第二孔 位板的顶 部， 所述数字式螺 旋顶杆设置 于所述滑轨上。 [0007]进一步， 所述第一孔位板、 所述第二孔位板、 所述第一压板和所述第  二压板之间 通过螺栓连接。 [0008]进一步， 所述限位扣包括： 限位板、 卡扣和安装孔； 所述卡扣设置在  所述限位板的 四个角处， 并且可滑动地扣合在所述滑轨上； 所述安装孔设  置在所述限位板的中心位置， 所述数字式螺 旋顶杆通过 所述安装孔与所述  限位扣连接 。 [0009]进一步， 所述数字式螺 旋顶杆通过S PC接口线和串口转USB的组合与  计算机连接 。 [0010]进一步， 所述滑轨上设置有刻度。说　明　书 1/4 页 3 CN 115184132 A 3