(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210772140.5 (22)申请日 2022.06.30 (71)申请人 杭州海康威视数字技 术股份有限公 司 地址 310051 浙江省杭州市滨江区阡 陌路 555号 (72)发明人 祁春超　李玉鹏　王荣　 (74)专利代理 机构 北京博思佳知识产权代理有 限公司 1 1415 专利代理师 杨春香 (51)Int.Cl. H01L 27/146(2006.01) H04N 5/225(2006.01) (54)发明名称 一种图像传感器、 摄 像头组件及电子设备 (57)摘要 本发明提供一种图像传感器、 摄像头组件及 电子设备。 其中， 所述图像传感器包括光电二极 管及微透镜。 所述光电二极管具有在第一预设方 向上相背离的第一表面和第二表面且所述光电 二极管的外周侧设有沟槽隔离结构； 所述微透镜 位于所述光电二极管的第一表 面所在的一侧， 所 述微透镜朝向背离所述光电二极管的一侧凸起， 所述微透镜的光轴与所述光电二极管沿第一预 设方向上的中心线不重合。 上述结构通过将微透 镜的光轴设置为与所述光电二极管沿第一预设 方向上的中心线不重合， 使 得沟槽结构对入射图 像传感器的波长较长的光线起到反射作用， 有利 于减少波长较长的光线穿过光电二极管， 从而提 高波长较长的光线吸收效率， 提高光图像传感器 的量子效率。 权利要求书1页 说明书5页 附图5页 CN 115036337 A 2022.09.09 CN 115036337 A 1.一种图像传感器， 其特 征在于， 所述图像传感器包括： 光电二极管， 具有第一表面， 所述 光电二极管的外周侧设有沟槽隔离结构； 微透镜， 位于所述光电二极管的第一表面所在的一侧， 所述微透镜朝向背离所述光电 二极管的一侧凸起， 所述微透镜的光轴与所述光电二极管沿第一预设方向上的中心线不重 合。 2.如权利要求1所述的图像传感器， 其特 征在于， 所述微透镜在沿第一预设方向上投影的尺寸与所述光电二极管在沿第一预设方向上 投影的尺寸一致， 所述微透镜和所述光电二极管在第二预设方向上的尺寸为D， 所述微透镜 和所述光电二极管在第三预设方向上的尺寸 为T； 其中， 所述第一预设方向与所述第二预设方向和所述第三预设方向所确定的平面垂 直； 所述微透镜的光轴 与所述光电二极管沿第一预设方向上的中心轴在第二预设方向上的 距离为D/2； 和/或所述微透镜的光轴 与所述光电二极管沿第一预设方向上的中心轴在第三 预设方向上的距离为T/2。 3.如权利要求2所述的图像传感器， 其特征在于， 所述微透镜和所述光电二极管在第 二 预设方向上的尺寸与所述 微透镜和所述 光电二极管在第三预设方向上的尺寸相等。 4.如权利要求1所述的图像传感器， 其特征在于， 所光电二极管的第 一表面与 所述微透 镜之间设有抗反射层。 5.如权利要求4所述的图像传感器， 其特征在于， 所述抗反射层中设有与所述沟槽隔离 结构对应的隔离结构。 6.如权利要求1至5中任一项所述的图像传感器， 其特征在于， 所述图像传感器为背照 式图像传感器。 7.如权利要求6所述的图像传感器， 其特征在于， 所述光电二极管具有与所述第 一表面 在第一预设方向上相背离的第二表面， 所述图像传感器包括设于所述光电二极管第二表面 上的转移栅极。 8.如权利要求1所述的图像传感器， 其特征在于， 所述图像传感器包括多个光电二极管 及多个微透 镜， 所述多个光电二极管 呈阵列排布。 9.一种摄像头组件， 其特征在于， 所述摄像头组件包括如权利要求1至8中任一项所述 的图像传感器。 10.一种电子设备， 其特征在于， 所述电子设备包括括壳体及如权利要求9所述的摄像 头组件， 所述摄 像头组件组装于所述壳体上。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115036337 A 2一种图像传感器、 摄像头组件及电子 设备 技术领域 [0001]本发明属于半导体器件技术领域， 尤其涉及一种图像传感器、 摄像头组件及电子 设备。 背景技术 [0002]背照式互补 式金属氧化物半导体(BSI ‑CMOS)图像传感器已经变成手机相机的主 流， 对于应用于虹膜验证、 面部识别以及动态捕获的近红外(Near  Infrared， NIR)图像传感 器的需求与日俱增。 背照式图像传感器是更适合近红外的传感器。 但是 由于近红外的应用 波长较长(700～1000)， 传统的像素结构在近红外波段量子效率较低(850nm  10％左右 940nm 4％左右)， 因此， 增强近红外光的敏感度变的尤为重要。 最简单的方法是增加入射光 子吸收层的厚度， 但是例如高能注入等工艺限制使得这种方法很难做到 。 发明内容 [0003]根据本发明实施例的第一方面， 提供一种图像传感器， 所述图像传感器包括： [0004]光电二极管， 具有第一表面， 所述 光电二极管的外周侧设有沟槽隔离结构； [0005]微透镜， 位于所述光电二极管的第一表面所在的一侧， 所述微透镜朝向背离所述 光电二极管的一侧凸起， 所述微透镜的光轴与所述光电二极管沿第一预设方向上的中心线 不重合。 [0006]在一些实施例中， 所述微透镜在沿第一预设方向上投影的尺寸与所述光电二极管 在沿第一预设方向上 投影的尺寸一致， 所述微透镜和所述光电二极管在第二预设方向上的 尺寸为D， 所述 微透镜和所述 光电二极管在第三预设方向上的尺寸 为T； [0007]其中， 所述第一预设方向与所述第二预设方向和所述第三预设方向所确定的平面 垂直； 所述微透镜的光轴与所述光电二极管沿第一预设方向上的中心轴在第二预设方向上 的距离为D /2； 和/或所述微透镜的光轴与所述光电二极管沿第一预设方向上的中心轴在第 三预设方向上的距离为T/2。 [0008]在一些实施例中， 所述微透镜和所述光电二极管在第二预设方向上的尺寸与所述 微透镜和所述 光电二极管在第三预设方向上的尺寸相等。 [0009]在一些实施例中， 所光电二极管的第一表面与所述 微透镜之间设有抗反射层。 [0010]在一些实施例中， 所述 抗反射层中设有与所述沟槽隔离结构对应的隔离结构。 [0011]在一些实施例中， 所述图像传感器为背照式图像传感器。 [0012]在一些实施例中， 所述光电二极管具有与所述第一表面在第一预设方向上相背离 的第二表面， 所述图像传感器包括设于所述 光电二极管第二表面上的转移栅极。 [0013]在一些实施例中， 所述图像传感器包括多个光电二极管及多个微透镜， 所述多个 光电二极管 呈阵列排布。 [0014]根据本发明实施例的第二方面， 提供一种摄像头组件， 所述摄像头组件包括如上 所述的图像传感器。说　明　书 1/5 页 3 CN 115036337 A 3