(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210672259.5 (22)申请日 2022.06.14 (71)申请人 江苏才道 精密仪器有限公司 地址 215300 江苏省苏州市昆山市玉山 镇 元丰路33号 (72)发明人 任勇　马观岚　胡均萱　刘佳仪　 郁文韬　 (74)专利代理 机构 杭州山泰专利代理事务所 (普通合伙) 33438 专利代理师 张飞 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) G01N 21/84(2006.01) (54)发明名称 PI膜在线宏微观AOI检查机联动升降装置及 方法 (57)摘要 本发明公开了PI膜在线宏微观AOI检查机联 动升降装置及方法， PI膜在线宏微观AOI检查机 联动升降装置及方法,包括Y轴调节机构所述Y轴 调节机构设置为中心对称 的两组， 两组所述Y轴 调节机构的表 面通过对称分布的X轴调节机构相 互连接。 本发 明中利用橡胶材料制造的吸盘式平 台， 稳固性较高， 并且可以减少对PI膜的磨损， 而 且可以利用自身重力挤压空气， 使吸盘产生吸 力， 四组升降机构通过驱动机构带动移动机构 进 行运作， 这样的设置可以使四组升降机构同时进 行运动， 提高了升降机构 的联动性， 而设置的位 于升降机构内部的微调机构可以对单个的升降 机构进行调节， 这样的调整方式方便简洁， 不需 要利用人工对其进行调整， 减少了四组升降机构 的高度误差 。 权利要求书3页 说明书8页 附图8页 CN 115112565 A 2022.09.27 CN 115112565 A 1.PI膜在线宏微观AOI检查机联动升降装置， 包括Y轴调节机构(1)、 X轴调节机构(2)、 信号处理中枢(6)和 伺服电机(58)， 其特征在于： 所述Y轴调节机构(1)设置为中心对称的两 组， 两组所述Y轴调节机构(1)的表 面通过对称分布的X轴调节机构(2)相互连接， 两组所述X 轴调节机构(2)的外表面均滑动连接有对称分布的两组对PI膜进 行支撑的升降机构(3)， 所 述X轴调节机构(2)的顶部设置有带动两组升降机构(3)进行升降的移动机构(4)， 所述Y轴 调节机构(1)的顶部固定安装有两组带动移动机构(4)进行转动的驱动机构(5)， 其中一组 所述驱动机构(5)的一端固定连接有伺服电机(58)， 所述信号处理中枢(6)安装于Y轴调节 机构(1)和X轴调节机构(2)形成的框体中心 点位置， 四组所述升降机构(3)的内部均设置有 对升降机构(3)高度进行微调的微调机构(7)， 所述升降机构(3)的顶部贯穿设置有对升降 机构(3)顶部放置的PI膜进行吸附的放气机构(8)。 2.根据权利 要求1所述的PI膜在线宏微观AOI检查机联动升降装置， 其特征在于： 所述Y 轴调节机构(1)包括Y轴导向轨(9)、 轨道限位块(10)和Y轴驱动电机(11)， 所述Y轴导向轨 (9)的两端均固定安装有轨道限位块(10)， 所述轨道限位块(10)的内部固定连接有螺纹方 向相反的Y轴反向驱动滚轴(12)和Y轴正向驱动滚轴(13)， 所述Y轴反向驱动滚轴(12)和Y轴 正向驱动滚轴(13)的相对侧通过第一连接轴套(14)固定连接， 所述Y轴正向驱动滚轴(13) 和第一连接轴套(14)的外表 面均设置有与其相适配的Y轴滑动块(15)， 所述Y轴滑动块(15) 的内壁与Y轴 导向轨(9)的外壁滑动连接， 所述轨道限位块(10)的一侧固定安装有Y轴驱动 电机(11)， 所述Y轴驱动电机(11)的电机轴 与Y轴反向驱动滚轴(12)的一端固定连接， 所述Y 轴滑动块(15)的底部设置有滚轴滑 块(58)， 所述滚轴滑 块与Y轴反向驱动滚轴(12)和Y轴正 向驱动滚轴(13)相配合。 3.根据权利 要求2所述的PI膜在线宏微观AOI检查机联动升降装置， 其特征在于： 所述X 轴调节机构(2)包括X轴导向轨(16)和X轴驱动电机(17)， 两组相互垂直的所述Y轴滑动块 (15)的顶部固定连接有X轴导向轨(16)， 所述X轴导向轨(16)的内部转动安装有螺纹方向相 反的X轴正向驱动滚轴(18)和X轴反向驱动滚轴(20)， 所述X轴正向驱动滚轴(18)和X轴反向 驱动滚轴(20)的相对侧通过第二连接轴套(19)固定连接， 其中一组所述Y轴滑动块(15)的 顶部且对应X轴 正向驱动滚轴(18)的位置固定安装有X轴驱动电机(17)， 所述X轴驱动电机 (17)的电机轴一端与X轴正向驱动滚轴(18)的一端固定连接， 所述X轴正向驱动滚轴(18)和 X轴反向驱动滚轴(20)的外表面均设置有与其相适配的X轴滑动块(21)， 所述X轴滑动块 (21)的内壁与X轴导向轨(16)的内壁滑动连接， 所述X轴滑动块(21)的顶部固定连接有升降 机构(3)， 所述X轴滑动块(21)的底部设置有滚轴滑 块(58)， 所述滚轴滑块(58)与X轴正向驱 动滚轴(18)和X轴反向驱动滚轴(20)相配合。 4.根据权利要求3所述的PI膜在线宏微观AOI检查机联动升降装置， 其特征在于： 所述 升降机构(3)包括升降底座(22)、 升降轴承(23)、 第一升降螺栓(24)、 升降基座(25)和橡胶 材料制造的吸盘(33)， 所述升降底 座(22)固定安装于X轴滑动块(21)的顶部， 所述升降底座 (22)的表 面安装有对称分布的升降轴承(23)， 两组所述升降轴承(23)的相对侧固定连接有 第一升降螺栓(24)， 所述第一升降螺栓(24)的表面开设有卡销孔(60)， 所述通孔的内部设 置有卡销， 所述升降基座(25)设置为对称分布的两组且滑动安装于升降底座(22)的顶部， 两组所述升降基座(25)之间且位于第一升降螺栓(24)的上方设置有与第一升降螺栓(24) 相啮合的蜗轮( 27)， 所述蜗轮( 27)的两端对称设置有第二升降螺栓( 26)， 所述升降基座权　利　要　求　书 1/3 页 2 CN 115112565 A 2(25)的顶部均固定连接有升降滑块(28)， 所述升降滑块(28)的顶部且对应升降滑 块(28)的 位置贯穿开设有 供升降滑块(28)沿升降基座(25)顶部进 行移动的贯穿槽， 两组所述升降滑 块(28)的顶部固定连接有剪式结构的升降杆(29)， 所述升降杆(29)的顶部转动连接有齿轴 (32)， 所述吸盘(33)的底部固定连接有两组升降框(30)， 所述升降框(30)内壁的顶部固定 连接有齿轨(31)， 所述齿轴(32)插接至升降框(30)的内部并与齿轨(31)相啮合， 所述齿轴 (32)的底部与升降框(30)内壁的底部相贴合， 所述吸盘(33)的内部贯穿设置有放气机构 (8)。 5.根据权利要求4所述的PI膜在线宏微观AOI检查机联动升降装置， 其特征在于： 所述 移动机构(4)包括第一安装架(34)、 第一旋转轴(35)和第一传动齿轮(36)， 所述第一安装架 (34)设置为对称分布的两组且固定安装于X轴导向轨(16)的顶部， 两组所述第一安装架 (34)的相对侧转动连接有第一旋转轴(35)， 所述第一旋转轴(35)的两端均固定连接有第一 传动齿轮(36)， 所述第一旋转轴(35)的外表 面穿过升降轴承(23)的内部并与第一升降螺栓 (24)的内部固定连接 。 6.根据权利要求5所述的PI膜在线宏微观AOI检查机联动升降装置， 其特征在于： 所述 驱动机构(5)包括支撑架(37)、 第二旋转轴(38)、 第二安装架(39)、 滑套(40)和第二传动齿 轮(41)， 两组所述X轴导 向轨(16)的顶部均固定安装有与第一安装架(34)相互垂直的第二 安装架(39)， 所述第二安装架(39)的表面转动连接有滑套(40)， 所述滑套(40)的一端 固定 连接有与第一传动齿轮(36)相啮合的第二传动齿轮(41)， 两组所述轨道限位块(10)的顶部 均固定连接有支撑架(37)， 其中一组所述支撑架(37)的一侧转动连接有第二旋转轴(38)， 所述第二旋转轴(38)的一端固定连接有伺服电机(58)， 所述第二旋转轴(38)的另一端穿过 第二传动齿轮(41)和滑套(40)的内部并转动安装于另一组所述支撑架(37)的表面。 7.根据权利要求6所述的PI膜在线宏微观AOI检查机联动升降装置， 其特征在于： 所述 第一旋转轴(35)和第二旋转轴(38)的横截面均设置为矩形， 所述升降轴承(23)的内外圈均 设置为圆形； 所述滑套(40)的外圈设置为圆形， 所述滑套(40)的内圈设置为矩形； 所述第一 升降螺栓(24)内外圈均为圆形， 所述滑套(40)内圈与第一旋转轴(35)配合， 所述滑套(40) 外圈与第一升降螺栓(24)内圈相贴合， 所述第一升降螺栓(24)外圈与升降轴承(23)内圈内 壁相贴合， 所述升降轴承(23)外圈与升降底座(25)固定连接 。 8.根据权利要求6所述的PI膜在线宏微观AOI检查机联动升降装置， 其特征在于： 所述 微调机构(7)包括激光测距器(42)、 变距轴承(44)、 舵机舱(46)、 舵机(47)、 变距块(50)和通 线孔(51)， 所述升降基座(25)的内部固定安装有激光测距器(42)， 所述升降基座(25)的顶 部且对应激光测距器(42)的位置贯穿开设有通光孔(45)， 所述第二升降螺栓(26)的外表 面 通过变距轴承(44)固定连接有变距 块(50)， 所述变距块(50)的外壁与升降基座(25)的内壁 相贴合， 所述升降基座(25)的内壁且位于变距块(50)