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(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210584589.9 (22)申请日 2022.05.27 (71)申请人 江苏博创翰林光电高科技有限公司 地址 214000 江苏省无锡市锡山经济技 术 开发区芙蓉中三路9 9号瑞云6座510室 (72)发明人 蔡贞贞  (74)专利代理 机构 南京苏高专利商标事务所 (普通合伙) 32204 专利代理师 柏尚春 (51)Int.Cl. G01N 21/65(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)发明名称 一种高灵敏度受激拉曼光谱仪 (57)摘要 本发明公开了一种高灵敏度受激拉曼光谱 仪, 包括: 第一激光源; 第二激光源; 合束镜, 激光 通过合束镜合束并经过样品; 经过样品的激光穿 过滤光镜 滤去泵浦光的波长, 由第一光电探测器 探测; 所述第一激光源和第二激光源至合束镜的 光路中, 其中一条光路通过斩波器调制, 另 一条 光路依次经过半波片和第一偏振分光片, 分出额 外光路由第二光电探测器探测; 第一光电探测器 和第二光电探测器同向并联, 与跨阻放大器连 接, 跨阻放大器输出电压信号进入锁相放大器, 斩波器驱动电源驱动斩波器, 脉冲发生器触发所 述锁相放大器和斩波器驱动电源。 本发明可以用 更弱的光获得同样信噪比的受激拉曼光谱, 降低 对激光器输出光稳定性的要求和避免激光对样 品的损坏。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 114994013 A 2022.09.02 CN 114994013 A 1.一种高灵敏度受激拉曼光谱仪, 其特 征在于, 包括: 第一激光源(1), 发出 脉冲激光作为受激拉曼光谱中的泵浦光; 第二激光源(2), 发出 脉冲激光作为受激拉曼光谱中的斯 托克斯光; 合束镜(3), 所述第一激光源(1)和第二激光源(2)的激光通过合束镜(3)合束并经过样 品(4); 滤光片(5)、 第一光电探测器(6), 经过样品(4)的激光穿过滤光镜(5)滤去泵浦光的波 长, 由第一 光电探测器(6)探测; 所述第一激光源(1)和第二激光源(2)至合束镜(3)的光路中, 其中一条光路通过斩波 器(7)调制, 输出调制后的激光脉冲序列, 另一条光路依次经过半波片(8)和第一偏振分光 片(9), 分出额外光路由第二光电探测器(10)探测, 通过旋转半波片(8), 来调节进入 所述样 品(4)和进入所述第二 光电探测器(10)的光强比例; 跨阻放大器(11)、 锁相放大器(12)、 脉冲发生器(13)及斩波器驱动电源(14), 所述第一 光电探测器(6)和第二光电探测器(10)同向并联, 与跨阻放大器(11)连接, 所述跨阻放大器 (11)输出电压信号进入锁相放大器(12), 所述斩波器驱动电源(14)驱动斩波器(7), 所述脉 冲发生器(13)触发所述锁相放大器(12)和斩波器驱动电源(14)。 2.根据权利要求1所述的高灵敏度受激拉曼光谱仪, 其特征在于: 所述第一激光源(1) 和第二激光源(2)至合束镜(3)的光路中, 经半波片(8)和第一偏振分光片(9)分出的额外光 路再经第二偏振分光镜(17)与 原光束合束, 该额外光路与 原光束时间上一前一后经过合束 镜(3), 与另一激光源的光合束并经过样 品(4), 再经第三偏振分光镜(18)后由第二光电探 测器(10)探测。 3.根据权利要求1或2所述的高灵敏度受激拉曼光谱仪, 其特征在于: 所述样品(4)两侧 分别设有第一聚焦镜(15)和第二聚焦镜(16), 所述第一激光源(1)和第二激光源(2)的激光 合束后依次通过第一聚焦镜(15)、 样品(4)及第二聚焦镜(16)。 4.根据权利要求1或2所述的高灵敏度受激拉曼光谱仪, 其特征在于: 所述第一光电探 测器(6)和第二 光电探测器(10)为 等效电流噪声低的光电二极管和雪崩光电二极管。 5.根据权利要求1或2所述的高灵敏度受激拉曼光谱仪, 其特征在于: 所述跨阻放大器 (11)的带宽与斩波器(7)输出的激光调制频率匹配。 6.根据权利要求1或2所述的高灵敏度受激拉曼光谱仪, 其特征在于: 测量 时, 挡住斩波 器(7)所在光路的激光源, 调节半波片(8), 将第一光电探测器(6)和第二光电探测器(10)接 收到的光电信号调平衡, 使锁相放大器(12)得到的信号尽可能小, 构成平衡探测结构。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 114994013 A 2一种高灵敏度受激拉曼光谱 仪 技术领域 [0001]本发明涉及光谱仪技 术领域, 尤其涉及一种高灵敏度受激拉曼光谱仪 。 背景技术 [0002]受激拉曼光谱是一种广泛应用于物理、 化学、 生物等领域的光谱学技术。 受激拉曼 散射是一种三 阶非线性光学现象。 两束高强度的激光与物质相互作用, 当两束光的光子能 量差(称为拉曼位移)与物质的能级差一致时, 其中一束光(称为斯托克斯光)会被受激放 大, 而另一束光(称为泵浦光)会减弱。 受激拉曼光谱被广泛应用在测量物质不同状态下 的 结构, 以及通过光谱 数据用来 获得物质其他性质, 比如燃烧状态的温度, 显微受激拉曼可以 用来通过细胞成像研究生物中的现象等。 常规的受激拉曼光谱仪, 两束光都采用高稳定性 激光器输出的激光, 收集 时间在1秒钟时, 灵敏度 可以达到10‑7。 但是在快速扫描, 比如成像 时, 这个灵敏度还是限制了成像的速度, 进 而影响了数据采集效率。 发明内容 [0003]发明目的: 为了克服背景技术的不足, 本发明公开了一种高灵敏度受激拉曼光谱 仪。 [0004]技术方案: 本发明所公开的高灵敏度受激拉曼光谱仪, 包括: [0005]第一激光源, 发出 脉冲激光作为受激拉曼光谱中的泵浦光; [0006]第二激光源, 发出 脉冲激光作为受激拉曼光谱中的斯 托克斯光; [0007]合束镜, 所述第一激光源和第二激光源的激光 通过合束镜合束并经 过样品; [0008]滤光片、 第一光电探测器, 经过样品的激光穿过滤光镜滤去泵浦光的波长, 由第一 光电探测器探测; [0009]所述第一激光源和第二激光源至合束镜的光路中, 其中一条光路通过斩波器调 制, 输出调制后的激光脉冲序列, 另一条光路依次经过半波片和第一偏振分光片, 分出额外 光路由第二光电探测器探测, 通过旋转半波片, 来调节进入所述样品和进入所述第二光电 探测器的光强比例; [0010]跨阻放大器、 锁相放大器、 脉冲发生器及斩波器驱动电源, 所述第一光电探测器和 第二光电探测器同向并联, 与跨阻放大器连接, 所述跨阻放大器输出电压信号进入锁相放 大器, 所述斩波器驱动电源驱动斩波器, 所述脉冲发生器触发所述锁相放大器和斩波器驱 动电源。 [0011]进一步的, 所述第一激光源和第二激光源至合束镜 的光路中, 经半波片和第一偏 振分光片分出的额外光路再经第二偏振分光镜与原 光束合束, 该额外光路与原 光束时间上 一前一后经过合束镜, 与另一激光源的光合束并经过样品, 再经第三偏振分光镜后由第二 光电探测器探测。 [0012]进一步的, 所述样品两侧 分别设有第一聚焦镜和第二聚焦镜, 所述第一激光源和 第二激光源的激光 合束后依次通过第一聚焦镜、 样品及第二聚焦镜 。说 明 书 1/4 页 3 CN 114994013 A 3

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