(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210362652.4 (22)申请日 2022.04.07 (30)优先权数据 63/171,585 2021.04.07 US (71)申请人 旺矽科技股份有限公司 地址 中国台湾 (72)发明人 刘永钦　蔡振扬　吴秉颖　彭柏翰　 谢沛轩　 (74)专利代理 机构 北京康信知识产权代理有限 责任公司 1 1240 专利代理师 王红艳 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) G01N 21/95(2006.01) (54)发明名称 光学检测系统与光学检测方法 (57)摘要 本发明提供一种光学检测系统与光学检测 方法。 光学检测系统包括承载模块、 激光提供模 块以及光学检测单元。 激光提供模块包括空间光 调变器， 以用于将一激光束转换成多个投射光 束。 光学检测单元包括第一光学检测模块以及第 二光学检测模块。 当多个投射光束同时分别相对 应投射在 多个待测物上时， 每一待测物通过相对 应的投射光束的激发而相对应产生一激发光束。 第一光学检测模块用于测量待测物所产生的激 发光束的发光强度， 以取得待测物所产生的激发 光束的一光强度信息。 第二光学检测模块用于测 量待测物所产生的激发光束的光学频谱， 以取得 待测物所产生的激发光束的一 光谱信息 。 权利要求书4页 说明书17页 附图12页 CN 115201108 A 2022.10.18 CN 115201108 A 1.一种光学检测系统， 其特 征在于， 所述 光学检测系统包括： 一承载模块， 所述承载模块用于承载多个待测物； 一激光提供模块， 所述激光提供模块包括一空间光调变器， 以用于将一激光束转换成 多个投射 光束； 以及 一光学检测单元， 所述光学检测单元包括一第 一光学检测模块以及一第 二光学检测模 块； 其中， 当多个所述投射光束 同时分别相对应投射在多个所述待测物上时， 每一所述待 测物通过相对应的所述投射 光束的激发而相对应产生 一激发光束； 其中， 所述第 一光学检测模块被配置以用于测量所述待测物所产生的所述激发光束的 发光强度， 借 此以取得所述待测物所产生的所述激发光束的一 光强度信息； 其中， 所述第 二光学检测模块被配置以用于测量所述待测物所产生的所述激发光束的 光学频谱， 借此以取得所述待测物所产生的所述激发光束的一 光谱信息 。 2.根据权利要求1所述的光学检测系统， 其特 征在于， 所述 光学检测系统进一 步包括： 一光学滤波模块， 所述光学滤波模块包括用于过滤多个所述投射光束的一带通滤波 器； 其中， 所述激光提供模块、 所述光学检测单元以及所述光学滤波模块设置在同一光学 路径上； 其中， 当每一所述待测物通过相对应的所述投射光束的激发而相对应产生所述激发光 束时， 所述待测物所相对应产生的所述激发光束通过所述带通滤波器而分别 传送到所述第 一光学检测模块以及所述第二 光学检测模块； 其中， 当每一所述投射光束通过相对应的所述待测物的反射而形成一反射光束时， 所 述反射光束被所述带通滤波器过滤而无法传送到所述第一光学检测模块以及所述第二光 学检测模块； 其中， 所述第 一光学检测模块被配置以用于同时测量多个所述待测物所各别相对应产 生的多个所述激发光束的发光强度， 借此以取得每一所述待测物所相对应产生的所述激发 光束的一 光强度信息； 其中， 所述第 二光学检测模块被配置以用于测量至少其中一所述待测物所相对应产生 的所述激发光束的光学频谱， 借此以取得至少其中一所述待测物所相对应产生的所述激发 光束的一 光谱信息 。 3.根据权利要求1所述的光学检测系统， 其特 征在于， 其中， 所述激光提供模块包括多个激光源产生器以及 分别邻近多个所述激光源产生器 的多个光学透镜， 且每一所述光学透镜用于将相对应的所述激光源产生器所产生的一激光 源转换成所述激光束； 其中， 多个所述激光源产生器所产生的多个所述激光源具有不同的波长范围； 其中， 所述激光提供模块对应于一分光组件， 所述激光提供模块所提供的所述激光束 先通过所述分光组件后再投向所述空间光调变器， 或者所述激光提供模块所提供的所述激 光束先通过 所述空间光调变 器后再投向所述分光组件； 其中， 所述空间光调变器被配置以用于允许所述激光束穿过或者用于反射所述激光 束， 借此以使得所述激光束被转换成多个所述投射光束， 且所述空间光调变器被配置以用权　利　要　求　书 1/4 页 2 CN 115201108 A 2于调整任意两个所述投射光束之间的最短距离、 多个所述投射光束的数量以及所述投射光 束的一光斑的大小与形状。 4.根据权利要求1所述的光学检测系统， 其特 征在于， 其中， 所述第一光学检测模块包括备配有至少一光电二极管的一发光强度量测仪， 所 述光电二极管被配置以用于取得每一所述待测物所相对应产生的所述激发光束的所述光 强度信息； 其中， 所述第二光学检测模块包括一光学频谱分析仪， 所述光学频谱分析仪被配置以 用于通过一光学透镜而取得至少其中一所述待测物所相对应产生的所述激发光束的所述 光谱信息， 至少其中一所述待测物位于或者靠近由多个所述待测物所占据的一预定区域的 一中央位置上。 5.根据权利要求1所述的光学检测系统， 其特 征在于， 其中， 所述光学检测单元包括用于接收所述激发光束的一积分球， 且所述第一光学检 测模块以及所述第二光学检测模块被安装在所述积分球上， 以使得所述第一光学检测模 块、 所述第二 光学检测模块以及所述积分球 被整合成一单一 光学组件； 其中， 所述第一光学检测模块包括配备有至少一光电二极管的一发光强度量测仪， 所 述光电二极管被配置以用于通过所述积分球而取得每一所述待测物所相对应产生的所述 激发光束的所述 光强度信息； 其中， 所述第二光学检测模块包括一光学频谱分析仪， 所述光学频谱分析仪被配置以 用于通过所述积分球而取得至少其中一所述待测物所相对应产生的所述激发光束的所述 光谱信息， 至少其中一所述待测物位于或者靠近由多个所述待测物所占据的一预定区域的 一中央位置上。 6.根据权利要求1所述的光学检测系统， 其特 征在于， 所述 光学检测系统进一 步包括： 一环境光提供模块， 所述环境光提供模块包括用于产生一环境光源的一环境光产生结 构； 以及 一影像获取模块， 所述影 像获取模块包括 一影像获取器； 其中， 所述激光提供模块、 所述光学检测单元、 所述环境光提供模块以及所述影像获取 模块设置在同一 光学路径上； 其中， 所述环境光提供模块被配置以用于通过一光学透镜而将所述环境光源转换成投 射在多个所述待测物上的一环境 光束， 借此以提供多个所述待测物所需的环境照明； 其中， 当每一所述投射光束投射在相对应的所述待测物上而形成一光斑时， 所述影像 获取模块被配置以用于获取所述光斑的一位置信息， 借此以判断每一所述投射光束的所述 光斑是否偏离相对应的所述待测物； 其中， 当所述投射光束的所述光斑偏离相对应的所述待测物时， 所述空间光调变器被 配置以用于将所述投射 光束的所述 光斑移动至相对应的所述待测物上。 7.根据权利要求1所述的光学检测系统， 其特 征在于， 所述 光学检测系统进一 步包括： 一影像获取模块， 所述影像获取模块包括一影像获取器， 所述影像获取器被配置以用 于获取每一所述投射光束相对应投射在所述待测物上所形成的一光斑， 借此以取得每一所 述投射光束的所述 光斑的一 光形信息； 一缺陷分析模块， 所述缺陷分析模块电性连接于所述第一光学检测模块、 所述第二光权　利　要　求　书 2/4 页 3 CN 115201108 A 3