(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123442938.3 (22)申请日 2021.12.3 0 (73)专利权人 深圳泰德半导体装备有限公司 地址 518000 广东省深圳市坪 山区坑梓街 道沙田社区新 沧海2#810 (72)发明人 李志强　李文强　杨建新　朱霆　 盛辉　周学慧　张凯　 (74)专利代理 机构 深圳市恒程创新知识产权代 理有限公司 4 4542 专利代理师 王韬 (51)Int.Cl. B23K 26/362(2014.01) B23K 26/70(2014.01) B23K 37/04(2006.01) B23K 26/142(2014.01)B23K 26/08(2014.01) (54)实用新型名称 具有吸尘机构的 晶圆ID打标设备 (57)摘要 本实用新型公开一种具有吸尘机构的晶圆 ID打标设备， 包括机架、 固定夹具、 激光 打标头以 及吸尘机构。 机架设有机台， 所述机台设有打标 工位； 所述固定夹具设于所述打标工位， 用于固 定待打标的晶圆； 激光打标头， 所述激光打标头 设于所述机架， 所述激光打标头的出光口的朝向 所述打标工位设置； 所述吸尘机构设于所述固定 夹具的外周缘， 用以吸除打标过程中的烟尘。 本 实用新型技术方案旨在减少加工过程对加工车 间环境的污染。 权利要求书1页 说明书6页 附图2页 CN 217096170 U 2022.08.02 CN 217096170 U 1.一种具有吸尘机构的 晶圆ID打标设备， 其特 征在于， 包括： 机架， 所述机架设有机台， 所述机台设有打标工位； 固定夹具， 所述固定 夹具设于所述打标工位， 用于固定待打标的 晶圆； 激光打标头， 所述激光打标头设于所述机架， 所述激光打标头的出光口的朝向所述打 标工位设置； 以及 吸尘机构， 所述吸尘机构设于所述固定 夹具的外周缘， 用以吸除打标 过程中的烟尘。 2.如权利要求1所述的具有吸尘机构的晶圆ID打标设备， 其特征在于， 所述吸尘机构包 括： 吸尘件， 所述吸尘件固定 于所述固定 夹具的外边 缘， 所述吸尘件设有 多个吸尘孔； 负压风机， 所述负压风机设于所述机架； 以及 吸尘管道， 所述吸尘管道的进风端与所述吸尘件连接， 并与所述吸尘孔连通， 所述负压 风机与所述吸尘管道出风端连接 。 3.如权利要求2所述的具有吸尘机构的晶圆ID打标设备， 其特征在于， 固定夹具设有进 料侧， 所述吸尘件围设于所述固定 夹具的顶面的外边 缘， 并与所述进料侧相邻。 4.如权利要求3所述的具有吸尘机构的晶圆ID打标设备， 其特征在于， 所述吸尘机构还 包括正压风机， 所述 正压风机固定 于所述机架， 并与所述吸尘件相对设置 。 5.如权利要求4所述的具有吸尘机构的晶圆ID打标设备， 其特征在于， 所述吸尘件包括 相邻设置的第一吸尘部和第二吸尘部， 所述第一吸尘部与所述固定夹具的进料侧相邻设 置， 并与所述 正压风机相对设置， 所述第二吸尘部与所述固定 夹具的进料侧相对设置 。 6.如权利要求5所述的具有吸尘机构的晶圆ID打标设备， 其特征在于， 所述吸尘机构还 包括固定架， 所述固定架固定于所述机台表面， 并位于所述固定夹具的外侧， 所述第一吸尘 部、 所述第二吸尘部以及所述 正压风机均固定 于所述固定架的表面。 7.如权利要求4所述的具有吸尘机构的晶圆ID打标设备， 其特征在于， 所述正压风机内 为负离子风机。 8.如权利要求1至7中任意一项所述的具有吸尘机构的晶圆ID打标设备， 其特征在于， 所述具有吸尘机构的晶圆ID打标设备还包括设于所述机台的多个料盒和移料机构， 所述料 盒用于放置晶圆， 所述移料机构可在多个所述料盒和所述打标工位之间移动。 9.如权利要求8所述的具有吸尘机构的晶圆ID打标设备， 其特征在于， 所述移料机构包 括： 底座， 所述底座设于所述机架， 并位于安装位； 和 两移料机械手， 两所述移料机械手均固定于所述底座， 并可伸出所述机台， 两所述移料 机械手可分别相对所述底座 转动或移动设置 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217096170 U 2具有吸尘机构的晶圆ID打标设 备 技术领域 [0001]本实用新型涉及激光打标设备技术领域， 特别涉及一种具有吸尘机构的晶圆ID打 标设备。 背景技术 [0002]晶圆也称作硅 晶片， 是硅半导体电路的重要的原材料。 随着晶圆的广泛应用及发 展， 晶圆的加工厂商通常会通过在晶圆上打标开实现对于晶圆产品的质量跟踪溯源。 现有 的晶圆ID打标设备中， 打标 过程会产生烟尘， 从而对加工间造成污染。 实用新型内容 [0003]本实用新型的主要目的是提供一种具有吸尘机构的晶圆ID打标设备， 旨在减少加 工过程产生的烟尘对加工车间的污染。 [0004]为实现上述目的， 本实用新型提出的具有吸尘机构的 晶圆ID打标设备， 包括： [0005]机架， 所述机架设有机台， 所述机台设有打标工位； [0006]固定夹具， 所述固定 夹具设于所述打标工位， 用于固定待打标的 晶圆； [0007]激光打标头， 所述激光打标头设于所述机架， 所述激光打标头 的出光口的朝向所 述打标工位设置； 以及 [0008]吸尘机构， 所述吸尘机构设于所述固定夹具的外周缘， 用以吸除打标过程中的烟 尘。 [0009]在本实用新型的一实施例中， 所述吸尘机构包括： [0010]吸尘件， 所述吸尘件固定 于所述固定 夹具的外边 缘， 所述吸尘件设有 多个吸尘孔； [0011]负压风机， 所述负压风机设于所述机架； 以及 [0012]吸尘管道， 所述吸尘管道的进风端与所述吸尘件连接， 并与所述吸尘孔连通， 所述 负压风机与所述吸尘管道出风端连接 。 [0013]在本实用新型的一实施例中， 固定夹具设有进料侧， 所述吸尘件围设于所述固定 夹具的顶面的外边 缘， 并与所述进料侧相邻。 [0014]在本实用新型的一实施例中， 所述吸尘机构还包括正压风机， 所述正压风机固定 于所述机架， 并与所述吸尘件相对设置 。 [0015]在本实用新型的一实施例中， 所述吸尘件包括相邻设置的第一吸尘部和第二吸尘 部， 所述第一吸尘部与所述固定夹具的进 料侧相邻设置， 并与所述正压风机相对设置， 所述 第二吸尘部与所述固定 夹具的进料侧相对设置 。 [0016]在本实用新型的一实施例中， 所述吸尘机构还包括固定架， 所述固定架固定于所 述机台表面， 并位于所述固定夹具的外侧， 所述第一吸尘部、 所述第二吸尘部以及所述正压 风机均固定 于所述固定架的表面。 [0017]在本实用新型的一实施例中， 所述 正压风机内为负离 子风机。 [0018]在本实用新型的一实施例中， 所述具有吸尘机构的晶圆ID打标设备还包括设于所说　明　书 1/6 页 3 CN 217096170 U 3