(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123337093.1 (22)申请日 2021.12.28 (73)专利权人 辽宁冷芯半导体科技有限公司 地址 110168 辽宁省沈阳市 浑南区浑南 东 路15-3号8B栋 (72)发明人 邰凯平　徐明　赵洋　孙东明　 成会明　 (51)Int.Cl. B23K 26/38(2014.01) B23K 26/70(2014.01) B23K 37/04(2006.01) (54)实用新型名称 一种激光分割器件实现整体蓝膜转移的装 置 (57)摘要 本实用新型公开了一种激光分割器件实现 整体蓝膜 转移的装置， 包括 真空泵， 吸附管道、 吸 附管道接头、 真空腔室、 吸附模具定位槽、 吸附模 具。 本实用新型的有益效果是： 所采用的是形状 定位和真空吸附固定样件技术方案， 样件位置定 位精准， 产品在切割过程中不会移动， 并且真空 释压后样品容易拿取， 实际生产中可进行连续精 准定位， 显著提高了产品生产效率和质量品质。 样品切割后所采用的蓝膜整体转移技术， 利于样 品的整体转移， 方法独特， 生产效率高， 为后续样 品的测试和批量供货提供了 基础保障。 权利要求书1页 说明书2页 附图2页 CN 216938985 U 2022.07.12 CN 216938985 U 1.一种激光分割器件实现整体蓝膜转移的装置， 其特征在于， 包括真空泵 （1） ， 吸附管 道 （2） 、 吸附管道接 头 （3） 、 真空腔室 （4） 、 吸附模具定位槽 （5） 、 吸附模具 （6） ； 其真空泵 （1） 连接吸附管道 （2） ， 吸附管道 （2） 连接吸附管道接头 （3） ， 吸附管道接头 （3） 连接真空腔室 （4） ， 吸附模具定位槽 （5） 固定在真空腔室 （4） 上板， 吸附模具 （6） 安装在吸附 模具定位槽 （5） 内， 样件放在吸附模具 （6） 的定位槽内。 2.根据权利要求1所述的一种激光分割器件实现整体蓝膜转移的装置， 其特征在于， 所 述的吸附管道接 头 （3） 包括圆形 管道 （31） 与梯形底座 （32） 。 3.根据权利要求1所述的一种激光分割器件实现整体蓝膜转移的装置， 其特征在于， 所 述的真空腔室 （4） 内部为空心， 上表面开一组平行的真空池 （41） ， 用于真空吸附， 侧壁有一 吸气通道 （42） 。 4.根据权利要求1所述的一种激光分割器件实现整体蓝膜转移的装置， 其特征在于， 所 述的吸附模 具定位槽 （5） 底 面中心为空心结构， 四周带有托底机构 （51） ， 左右两侧各带有一 组模具取样槽 （52） 。 5.根据权利要求1所述的一种激光分割器件实现整体蓝膜转移的装置， 其特征在于， 所 述的吸附模 具 （6） 包括样件定位槽 （61） ， 槽中有定位吸附孔 （611） ， 具有样件 取样槽 （62） ， 吸 附模具 （6） 带有一组提取把手 （6 3） 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216938985 U 2一种激光分割器件实现整体 蓝膜转移的装 置 技术领域 [0001]本发明涉及 微器件分割技术及微器件分析测试研究领域， 具体为一种激光分割器 件实现整体蓝膜转移的装置 。 背景技术 [0002]目前， 各种微电子器件和芯片由于其独特的功能性、 强大的集成能力及低能耗友 好性， 其研究和应用近年 发展迅速， 尤其在航空航 天、 5G通信和大数据领域有广泛的应用前 景。 在实际生产中， 整板排列集成的微型器件分割时， 常采用模具机械定位切割， 器件整体 定位精度不够， 导致切割精度低， 一般不能满足微器件高精度尺寸的要求。 此外， 此种 方式 切割的器件后续整体转移和测试定位精度不 足、 稳定性差、 效率低， 不能满足现代企业生产 要求， 不具有普适 性。 发明内容 [0003]为解决以上技 术不足， 发明一种微器件整体切割定位， 整体转移的装置尤为重要。 [0004]本实用新型一种激光分割器件实现整体蓝膜转移的装置， 可以对毫米至亚微米尺 寸的微器件进行精确定位、 切割和无损转移。 该装置具有简单、 有效、 易于推广等特点。 [0005]技术方案 [0006]为了实现上述目的， 该一种激光分割器件实现整体蓝膜转移的装置， 实用新型所 采用的技 术方案如下： [0007]一种激光分割器件实现整体蓝膜转移的装置， 包括真空泵， 吸附管道、 吸附管道接 头、 真空腔室、 吸附模具定位槽、 吸附模具， 真空吸附系统用螺栓与吸附模具定位槽相连接， 吸附模具安装在吸附模具定位槽内部， 吸附模具 上吸附和定位整板器件。 [0008]所述的真空吸附系统包括真空泵、 吸附管道， 开有真空池的真空腔室。 [0009]所述的吸附模具定位槽用螺 栓与真空吸附腔室连接 。 [0010]所述的吸附模具上开定位吸附孔、 样件定位槽和样件取样槽， 吸附模具上根据样 件尺寸可开若干个样件取样槽 。 [0011]本实用新型的优点及有益效果如下： [0012]此外， 本装置对各种尺寸的整板微器件和单个器件进行形状定位和真空吸附位置 固定， 切割效果好， 切割精度高，  产品在切割过程中不会移动， 并且真空释压后 样品容易拿 取， 实际生产中可进 行连续精准定位， 显著提高了产品生产效率和质量品质。 样品切割后所 采用的蓝膜整体转移技术， 利于样品的整体转移， 方法独特， 生产效率高， 为后续样品的测 试和批量供货提供了基础保障。 附图说明 [0013]图1为本实用新型的总体结构示 意图； [0014]图2为本实用新部件拆分示 意图；说　明　书 1/2 页 3 CN 216938985 U 3