(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211030460.X (22)申请日 2022.08.26 (71)申请人 南通市乐能电力有限公司 地址 226000 江苏省南 通市苏锡通科技产 业园区海悦路1号 (72)发明人 郭文丰　刘俊　张勤辉　 (74)专利代理 机构 江苏南通瀛信专利代理事务 所(普通合伙) 32579 专利代理师 滕俊强 (51)Int.Cl. H01L 31/18(2006.01) H01L 21/687(2006.01) H01L 21/02(2006.01) H01L 21/67(2006.01) B08B 1/00(2006.01)B08B 1/02(2006.01) B08B 3/04(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种TOPco n线路电池的生产工艺 (57)摘要 本发明公开了一种TOPcon线路电池的生产 工艺， 涉及到线路电池领域， 包括如下步骤： S1: 首先进行双面制绒， 形成金字塔绒面； S2:单面硼 集中， 用低压管式集中， 其中三氯化硼:氧气=1: 8， 硼源量100sccm， 氧气流量800sccm， 氮气流量 3100sccm， 真空压力为400mbar， 在温度840℃进 行沉积6min， 上升温度至865℃。 本发明中清 洗池 内的两组转动机构不仅可以将电池板在清洗液 中浸泡， 且 可以起到将电池板进行自动翻面的作 用， 也就是一组转动机构带动电池板转动对电池 板的背面进行清洗， 而另一组转动机构带动电池 板转动对电池板的正面清洗， 且 无需人工进行翻 面， 工作效率高， 且避免清洗液对工作人员造成 腐蚀， 进而清洗过程中更加的安全。 权利要求书2页 说明书7页 附图4页 CN 115132883 A 2022.09.30 CN 115132883 A 1.一种TOPco n线路电池的生产工艺， 其特 征在于， 包括如下步骤： S1:首先进行双面制绒， 形成金字塔绒 面； S2:单面硼集中， 用低压管式集 中， 其中三氯化硼:氧气=1:8， 硼源量100sccm， 氧气流量 800sccm， 氮气流量3100sccm， 真 空压力为400mbar， 在温度840℃进行沉积6min， 上升温度至 865℃， 氮气流量为3200sccm进行高温推动11min， 而后在温度865℃时同样通入硼源量 100sccm、 氧气流量800sccm、 氮气流量3100sccm进行沉积， 真空压力400mbar， 时间为9min， 随后升温至905度氮气流量3200sccm， 压力400mbar进行推动， 再用法960℃、 真空压力 400mbar进行高温推动11min； 最终降温至750℃， 在降温过程中时通氧气进行氧化， 降温 35min， bsg厚度约3 0nm； S3:用药液对背面进行酸刻蚀， 减薄量在0.23 ‑0.25g； S4:本征多晶硅， 在硅烷： 氮气=1:5的低压氛围中沉积20mi n， 温度保持在6 50℃； S5:用清洗装置去除背面bsg和psg以及正 面的psg； S6:去除正 面的本征多晶硅， 在温度70℃， KOH:抛光剂= 3:1的溶液中， 停留10mi n； S7:表面钝化； S8： 分步骤进行丝网印刷， 并在85 0‑900℃完成成品烧结； 其中， S5中的清洗装置包括清洗池 （1） 和电池板 （4） ， 所述清洗池 （1） 的内部竖向设置有 分隔板 （2） ， 分 隔板 （2） 将清洗池 （1） 的内部 分为两个清洗槽， 一个清洗槽用于清洗线路板的 正面， 一个清洗槽用于清洗电路板的背面， 所述清洗槽的内部 设有转动机构 （3） ， 电池板 （4） 安装在转动机构 （3） 上， 且转动机构 （3） 带动电池板 （4） 在竖直平面内转动， 电池板 （4） 在一 个清洗槽清洗完成以后 将会通过移动组件移动至另一组清洗槽， 两个清洗槽分别对电池板 （4） 的正面、 背面进行清洗， 所述清洗槽的内部位于转动机构 （3） 的边缘活动设有清洁辊 （10） ， 电池板 （4） 在转动的过程中经 过清洁辊 （10） 的表面。 2.根据权利 要求1所述的一种TOPcon线路电池的生产工艺， 其特征在于： 所述移动组件 包括第二传输皮带 （11） 和通槽件 （6） ， 所述通槽件 （6） 位于分 隔板 （2） 上， 第二传输皮带 （11） 位于通槽件 （6） 的内部， 且电池板 （4） 在竖直平 面内转动的过程中不与第二传输皮带 （11） 接 触。 3.根据权利 要求2所述的一种TOPcon线路电池的生产工艺， 其特征在于： 所述第二传输 皮带 （11） 由两组传动辊 （21） 传动连接， 其中一组传动辊 （21） 与驱动电机 （5） 的转轴传动连 接， 驱动电机 （5） 安装在清洗池 （1） 的外侧壁。 4.根据权利 要求1所述的一种TOPcon线路电池的生产工艺， 其特征在于： 所述转动机构 （3） 包括转动滚筒 （31） 和弹性安装板 （32） ， 所述转动滚筒 （31） 的数量为二， 两组转动滚筒 （31） 分别活动安装在两组清洗槽内， 且两组转动滚筒 （31） 相互平行设置， 转动滚筒 （31） 的 转轴均伸出清洗池 （1） 的外侧壁与安装在清洗池 （1） 外壁的驱动电机 （5） 传动连接， 所述转 动滚筒 （31） 的边缘固定设有弹性安装板 （32） ， 弹性安装板 （32） 的端部开设有插接槽 （34） ， 电池板 （4） 插设在插接槽 （34） 的内部， 且插接槽 （34） 以及转动滚筒 （31） 的内部设有将电池 板 （4） 压紧在插接 槽 （34） 内部的夹紧机构， 弹性 安装板 （32） 的表面 开设有V形凹槽 （321） 。 5.根据权利 要求4所述的一种TOPcon线路电池的生产工艺， 其特征在于： 所述夹紧机构 包括控制器 （9） 、 充气腔 （17） 、 接触传感器 （33） 、 弹性气 囊 （35） 和充气机构， 所述接触传感器 （33） 位于插接槽 （34） 的内壁， 弹性气囊 （35） 固定连接在插接槽 （34） 的内壁， 转动滚筒 （31）权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115132883 A 2的内部开设有充气腔 （17） ， 充气腔 （17） 的内部设有充气机构， 充气机构通过弹性安装板 （32） 内部的气流通道与弹性气囊 （35） 的内部相互连通， 所述控制器 （9） 固定安装在清洗池 （1） 的内壁上， 且 控制器 （9） 电性连接 于接触传感器 （3 3） 和充气机构。 6.根据权利 要求5所述的一种TOPcon线路电池的生产工艺， 其特征在于： 所述充气机构 包括弹簧压缩管 （15） 、 挤压板 （16） 和电动推杆 （18） ， 所述电动推杆 （18） 的固定端安装在充 气腔 （17） 内远离弹性安装板 （32） 的一端， 电动推杆 （18） 的活动端 固定设有挤压板 （16） ， 挤 压板 （16） 面向弹性安装板 （32） 的一面与弹簧压缩管 （15） 的一端固定连接， 弹簧压缩 管 （15） 的另一端与充气腔 （17） 靠近弹性安装板 （32） 的一端固连， 转动滚筒 （31） 上设有用于连通弹 簧压缩管 （15） 以及气流通道的出气孔 （12） ， 所述挤压板 （16） 上设有将出气孔 （12） 远离弹性 安装板 （32） 的一端 进行密封的密封塞 （20） ， 所述控制器 （9） 与电动推杆 （18） 电性连接 。 7.根据权利要求6所述的一种TOPcon线路电池的生产工艺， 其特征在于： 所述密封塞 （20） 为圆台状结构设计， 且密封塞 （20） 面向出气孔 （12） 一端的直径小于密封塞 （20） 远离出 气孔 （12） 一端的直径。 8.根据权利要求7所述的一种TOPcon线路电池的生产工艺， 其特征在于： 所述插接槽 （34） 的底部与压缩弹簧的一端固连， 压缩弹簧的另一端与活动板 （36） 固连， 转动滚筒 （31） 的内部设有控制活动板 （3 6） 在插接 槽 （34） 底部移动的控制机构。 9.根据权利 要求8所述的一种TOPcon线路电池的生产工艺， 其特征在于： 所述控制机构 包括穿线槽 （19） ， 穿线槽 （19） 与充气腔 （17） 相互平行， 活动板 （36） 面向穿线槽 （19） 的一面 与拉绳的一端固连， 拉绳的另一端穿入穿线槽 （19） 的内部， 并绕过穿线槽 （19） 内部的滑轮 穿入充气腔 （17） 的内部， 最终与挤压 板 （16） 固定连接 。 10.根据权利要求1所述的一种TOPcon线路电池的生产工艺， 其特征在于： 所述清洗池 （1） 上与分隔板 （2） 相互平行的两个侧壁上均设有输送机构， 一组输送机构将电池板 （4） 送 入一组清洗槽的内部， 另一组输送机构将电池板 （4） 从清洗池 （1） 的内部输出， 输送机构包 括通槽件 （6） 和第一传输皮带 （7） ， 清洗池 （1） 上与分 隔板 （2） 相互平行的两个侧壁上开设有 通槽件 （6） ， 第一传输皮带 （7） 位于清洗池 （1） 上的两组通槽件 （6） 内， 第一传输皮带 （7） 由两 组传动辊 （21） 传动连接， 位于清洗池 （1） 内部的传动辊 （21） 活动安装在清洗池 （1） 的内壁， 而位于清洗池 （1） 外部的传动 辊 （21） 则安装在安装架 （8） 上，