(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210964887.0 (22)申请日 2022.08.11 (71)申请人 江苏晶杰光电科技有限公司 地址 221300 江苏省徐州市邳州市经济开 发区环城北路北侧非晶产业园三期16 号厂房 (72)发明人 陈炳寺　 (74)专利代理 机构 江苏长德知识产权代理有限 公司 32478 专利代理师 刘传玉 (51)Int.Cl. B08B 1/00(2006.01) B08B 1/04(2006.01) B08B 3/04(2006.01) B08B 13/00(2006.01)H01L 21/67(2006.01) (54)发明名称 一种晶圆加工用清洗装置 (57)摘要 本发明涉及一种晶圆加工用清洗装置,所述 晶圆加工用清洗装置包括： 底 座以及固定安装在 所述底座上的固定板， 所述固定板上固定有横 板， 所述横板上固定有用于输送晶圆的导料管， 所述底座上设置有用于引导所述导料管内晶圆 下料的下料机构； 所述下料机构上固定有转盘， 所述转盘上开设有呈圆周等距设置的通槽， 所述 通槽内设置有用于承接晶圆的承接板， 所述底座 上设置有用于驱动所述承接板摆动的限位机构， 所述转盘上还设置有与所述限位机构连接的承 接机构， 所述横板上转动安装有两组刷头， 所述 底座上设置有用于驱动所述刷头转动的驱动机 构， 所述驱动机构上固定有与所述下料机构连接 的主动轮， 所述驱动机构通过所述主动轮驱动所 述下料机构间歇运动。 权利要求书2页 说明书6页 附图8页 CN 115193777 A 2022.10.18 CN 115193777 A 1.一种晶圆加工用清洗装置， 其特 征在于， 所述晶圆加工用清洗装置包括： 底座(1)以及固定安装在所述底座(1)上的固定板(2)， 所述固定板(2)上固定有横板 (3)， 所述横板(3)上固定有用于输送晶圆的导料管(8)， 所述底座(1)上设置有用于引导所 述导料管(8)内晶圆下 料的下料机构； 所述下料机构上固定有转盘(20)， 所述转盘(20)上开设有呈圆周等距设置的通槽， 所 述通槽内设置有用于承接晶圆的承接板(21)， 所述底座(1)上设置有用于驱动所述承接板 (21)摆动的限位机构， 所述转盘(20)上还设置有与所述限位机构连接的承接机构， 所述横 板(3)上转动安装有用于清洁晶圆的两组刷头(18)， 所述底座(1)上设置有用于驱动所述刷 头(18)转动的驱动机构， 所述驱动机构上固定有与所述下料机构连接的主动轮(13)， 所述 驱动机构通过 所述主动轮(13)驱动所述下 料机构间歇运动。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用清洗装置， 其特征在于， 所述下料机构包括转 动安装在所述导料管(8)上的限位板(9)、 固定安装在所述限位板(9)上的限位块(4)、 套设 在所述限位板(9)转轴上且 呈对称设置的一号扭簧(10)， 所述底 座(1)上设置有与所述限位 块(4)间歇抵接的从动组件， 所述从动组件与所述主动轮(13)连接且与所述转盘(20)固定 连接。 3.根据权利要求2所述的一种晶圆加工用清洗装置， 其特征在于， 所述从动组件包括转 动安装在所述底座(1)上的一号转动杆(5)、 固定安装在所述一号转动杆(5)上的转动板 (6)、 固定安装在所述转动板(6)上且呈圆周等距设置的滑轮(7)， 所述一号转动杆(5)上固 定有与所述主动轮(13)配合的从动轮(11)， 所述滑轮(7)与所述限位块(4)间歇抵接， 所述 一号转动杆(5)与所述 转盘(20)固定连接 。 4.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用清洗装置， 其特征在于， 所述限位机构包括设 置在所述转盘(20)上且与所述承接板(21)固定连接的往复组件、 固定安装在所述承接板 (21)上的一号限位杆(22)、 固定安装在所述底座(1)上且与所述一号限位杆(22)间歇抵接 的一号支撑杆(23)， 所述横 板(3)上固定有与所述往复组件间歇抵接的二号支撑杆(26)， 所 述往复组件与所述承接 机构连接 。 5.根据权利要求4所述的一种晶圆加工用清洗装置， 其特征在于， 所述往 复组件包括转 动安装在所述通槽内且与所述承接板(21)固定连接的三号转动杆(2 4)、 套设在所述三号转 动杆(24)上的二号扭簧(27)、 固定安装在所述三号转动杆(24)上且与所述二号支撑杆(26) 间歇抵接的二号限位杆(25)， 所述 三号转动杆(24)与所述承接 机构连接 。 6.根据权利要求5所述的一种晶圆加工用清洗装置， 其特征在于， 所述承接机构包括固 定安装在所述通槽内的支撑板(28)、 固定安装在所述三号转动杆(2 4)上且呈对称设置的一 号连杆(29)、 铰接在所述一号连杆(29)上的二号连杆(30)， 所述转盘(20)上设置有与所述 支撑板(28)连接的滑动组件， 所述滑动组件与所述 二号连杆(30)铰接。 7.根据权利要求6所述的一种晶圆加工用清洗装置， 其特征在于， 所述滑动组件包括开 设在所述支撑板(28)上且呈对称设置的滑槽(32)、 滑动安装在所述滑槽(32)内的滑动块 (31)、 固定安装在所述滑动块(31)上的挡 板(33)， 所述滑动块(31)与所述二号连杆(30)铰 接。 8.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用清洗装置， 其特征在于， 所述驱动机构包括转 动安装在所述底座(1)上的传动杆(15)、 套设在所述传动杆(15)上且与其中一个所述刷头权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115193777 A 2(18)转轴连接的一号皮带(17)、 套设在两个所述刷头(18)上的二号皮带(19)， 所述底座(1) 上设置有与所述传动杆(15)连接的齿合组件， 所述齿合组件与所述主动轮(13)固定连接 。 9.根据权利要求8所述的一种晶圆加工用清洗装置， 其特征在于， 所述齿合组件包括固 定安装在所述传动杆(15)上的小齿轮(16)、 转动安装在所述底座(1)上的二号转动杆(12)、 固定安装在所述二号转动杆(12)上且与所述小齿轮(16)啮合的大齿轮(14)， 所述二号转动 杆(12)与所述主动轮(13)固定连接 。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115193777 A 3