(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210868649.X (22)申请日 2022.07.21 (71)申请人 江苏泰芯源科技有限公司 地址 221000 江苏省徐州市邳州市经济开 发区环城北路中国非晶城21号厂房 (72)发明人 刘波波　 (74)专利代理 机构 北京和联顺知识产权代理有 限公司 1 1621 专利代理师 汤华珍 (51)Int.Cl. B08B 1/02(2006.01) B01D 46/12(2022.01) B08B 1/00(2006.01) B08B 7/00(2006.01) B08B 13/00(2006.01)B08B 15/04(2006.01) (54)发明名称 一种微电子器件原料预处理设备及其使用 方法 (57)摘要 本发明公开了一种微电子器件原料预处理 设备及其使用方法， 包括负压传送带、 预处理机 构、 伸缩杆； 预处理机构安装在负压传送带上， 预 处理机构 包括预处理箱， 预处理箱上安装有驱动 电动机， 驱动电动机上连接有转轴， 转轴贯通预 处理箱设置， 转轴位于预处理箱内的一端连接有 转动盘， 转动盘的下底面连接有多个圆周均匀分 布的刷毛， 转动盘的下底面中心处安装有吸附机 构； 伸缩杆安装在预处理箱的一个内壁上。 本发 明通过相应机构的设置， 不仅可以提高对微电子 器件原料表 面的出现效率， 还可以提高整体的除 尘效果， 避免工作人员进行二次除尘， 大大减轻 了工作人员的劳动负担， 也可以保证微电子器件 的生产效率， 增 加生产者的收入。 权利要求书2页 说明书5页 附图6页 CN 115026030 A 2022.09.09 CN 115026030 A 1.一种微电子器件原料 预处理设备， 其特 征在于， 包括： 负压传送带(1)； 预处理机构(2)， 安装在所述负压传送带(1)上， 所述预处理机构(2)包括预处理箱 (201)， 所述预处理箱(201)上安装有驱动电动机(202)， 所述驱动电动机(202)上连接有转 轴(203)， 所述转轴(203)贯通预处理箱(201)设置， 所述转轴(203)位于 预处理箱(201)内的 一端连接有转动盘(204)， 所述转动盘(204)的下底面连接有多个圆周均匀分布的刷毛 (205)， 所述转动盘(204)的下底面中心处安装有吸附机构； 伸缩杆(3)， 安装在所述预处理箱(201)的一个内壁上， 且与所述刷毛(205)相对应设 置。 2.根据权利要求1所述的一种微电子器件原料预处理设备， 其特征在于， 所述吸附机构 包括吸附盘(206)， 所述吸附盘(206)固定连接在所述转动盘(204)的中心处， 所述吸附盘 (206)上开凿有 多个均匀分布的吸附孔(207)。 3.根据权利要求2所述的一种微电子器件原料预处理设备， 其特征在于， 所述转轴 (203)内设有输气道(208)， 所述转轴(203)的外侧设有轴套(209)， 所述轴套(209)与转轴 (203)转动连接， 所述轴套(209)与所述预处 理箱(201)内壁之间连接有加强柱。 4.根据权利要求3所述的一种微电子器件原料预处理设备， 其特征在于， 所述转轴 (203)位于所述轴套(209)内的侧壁上开凿有贯通孔(210)， 所述输气道(208)通过贯通孔 (210)与所述轴套(209)内部相连通。 5.根据权利要求4所述的一种微电子器件原料预处理设备， 其特征在于， 所述预处理箱 (201)上安装有吸气泵(21 1)， 所述吸气泵(21 1)与所述轴套(209)之间连接有吸气管(212)。 6.根据权利要求5所述的一种微电子器件原料预处理设备， 其特征在于， 所述吸气泵 (211)上连接有排气管(213)， 所述排气管(213)上连接有处理箱(214)， 所述处理箱(214)内 设有第一过滤材质(215)和第二过滤材质(216)， 所述处理箱(214)上设有排气网(217)， 所 述排气网(217)设于处 理箱(214)远离排气管(213)的一侧。 7.根据权利要求6所述的一种微电子器件原料预处理设备， 其特征在于， 所述转动盘 (204)内安装有离子发生器(218)， 所述转动盘(204)内设有空腔(219)， 所述离子发生器 (218)的出气端与空腔(219)相连通， 所述刷毛(205)为橡胶材质， 所述刷毛(205)内设有暂 存腔(220)， 所述空腔(219)与暂存腔(2 20)相连通。 8.根据权利要求7所述的一种微电子器件原料预处理设备， 其特征在于， 所述暂存腔 (220)内设有多个离子(221)， 所述刷毛(205)的侧壁上连接有多个纳米纤维(222)， 所述刷 毛(205)的侧壁上设有释放 孔， 所述纳米纤维(2 22)设于释放 孔内。 9.根据权利要求1所述的一种微电子器件原料预处理设备， 其特征在于， 所述负压传送 带(1)的侧壁上连接有一对连接杆(4)， 所述连接杆(4)上连接有吸尘管(401)， 所述吸尘管 (401)上连接有多个均匀分布的喷头(402)， 所述吸尘管(401)与所述吸气管(212)之间连接 有连接管(40 3)。 10.一种如权利要求1至9任意一项所述的微电子器件预处理设备的使用方法， 其特征 在于， 包括以下步骤： S1、 将微电子器件放置到负压传送带(1)上， 利用负压传送带(1)来吸附固定微电子器 件；权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115026030 A 2S2、 微电子器件 随着负压传送带(1)进入到预处理箱(201)内， 打开驱动电动机(202)， 驱动电动机(202)通过转轴(203)带动转动盘(204)进行旋转， 转动盘(204)上的刷毛(205) 对微电子器件的表面进行滚刷， 用于去除杂质； S3、 打开吸气泵(211)， 吸气泵(211)通过吸气管(212)、 轴套(209)、 轴套(209)、 输气道 (208)、 吸附盘(20 6)和吸附孔(207)吸取刷毛(20 5)滚刷下的杂质， 用于进一 步去除杂质； S4、 当转动盘(204)转动时， 控制伸 缩杆(3)伸长， 此时， 伸 缩杆(3)能够与刷毛(205)产 生接触， 利用伸缩杆(3)的阻挡来分离刷毛(205)表 面粘附的杂质， 使 得杂质与刷毛(205)分 离； S5、 从刷毛(205)上分离的杂质被喷头(402)吸取， 并通过吸尘管(401)和 连接管(403) 进入到吸气管(212)内， 在吸气泵(211)的作用下通过排气管(213)排出， 排出的杂质受到第 一过滤材质(215)和第二过滤材质(216)的过滤， 避免杂质进入到空气中， 以便对杂质进行 集中处理； S6、 在转动盘(204)旋转时， 打开离子发生器(218)， 离子发生器(218)产生离子(221)， 离子(221)进入到空腔(219)和暂存腔(220)内， 并吸附在纳米纤维(222)的表面， 刷毛(2 05) 在离子(221)和纳米纤维(222)的作用下用于进一步提高 吸附杂质的效果， 以便更好的去除 杂质， 大大提高微电子器件表面杂质的去除效果。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115026030 A 3