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(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210872507.0 (22)申请日 2022.07.20 (71)申请人 深圳市凌盛电子有限公司 地址 518000 广东省深圳市宝安区翻身路 新安街道宝城47区怡景 北1巷12栋 506 (72)发明人 宋道远 宋凌曦 许浑  (74)专利代理 机构 东莞市卓易专利代理事务所 (普通合伙) 44777 专利代理师 王再兴 (51)Int.Cl. B08B 1/00(2006.01) B08B 5/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 基于信号传输优化的集成电路制造设备 (57)摘要 本发明提供基于信号传输优化的集成电路 制造设备, 涉及集成电路制造领域, 包括工作台 与输送台, 所述工作台侧端相抵有输送台, 所述 工作台顶端安装有顶部支板, 所述顶部支板底端 设有上压台, 所述上压台两端均设有一组滑轨, 两组所述滑轨底部分别滑动连接有第一夹持臂 和第二夹持臂, 所述工作台顶部设有下压块, 所 述工作台底端安装有底部托架, 所述输送台顶端 滑动连接有输送板, 所述输送台顶端连接安装有 清理箱, 所述清理箱顶部安装有输风机, 所述清 理箱内部设有清理座, 且清理座与输送板顶部接 触设置。 设有第一夹持臂和第二夹持臂, 两个夹 持臂通过第一传感器的反馈配合能够快速的对 集成电路移动加工制造, 提高的制造效率。 权利要求书2页 说明书5页 附图4页 CN 115318688 A 2022.11.11 CN 115318688 A 1.基于信号传输优化的集成电路制造设备, 包括工作台(1)与输送台(3), 其特征在于: 所述工作台(1)侧端相抵有输送 台(3), 且输送台(3)与工作台(1)侧端垂直设置, 所述工作 台(1)顶端安装有顶部支板(2), 所述顶部支板(2)底端设有上压台(8), 所述上压台(8)两端 均设有一组滑轨(7), 且滑轨(7)与顶部支板(2)顶端栓接, 两组所述滑轨(7)底部分别滑动 连接有第一夹持臂(5)和第二夹持臂(6), 所述工作台(1)顶部设有 下压块, 且 下压块与上压 块对齐设置, 所述工作台(1)底端安装有底部托架(10), 所述输送 台(3)顶端滑动连接有输 送板(16), 且输送板(16)表面阵列开设有通孔, 所述输送台(3)顶端 连接安装有清理箱(4), 所述清理箱(4)顶部安装有输风机(26), 所述清理箱(4)内部设有清理座(21), 且清理座 (21)与输送板(16)顶部 接触设置 。 2.根据权利要求1所述的基于信号传输优化的集成电路制造设备, 其特征在于: 所述第 一夹持臂(5)包括有连接块(501), 所述连接块(501)两端均设有滑块(502), 所述滑 块(502) 顶端插入并滑动连接于滑轨(7)底端, 所述连接块(501)底端滑动连接有底部滑板(503), 所 述底部滑板(503)靠近上压块一端设有两个连接臂(504), 且两个连接臂(504)相互对称设 置。 3.根据权利要求2所述的基于信号传输优化的集成电路制造设备, 其特征在于: 两个所 述连接臂(504)内部安装有直线丝杆(505), 两个所述连接臂(504)顶端均设有夹持板 (5041), 两个所述夹持板(5041)镜像设置, 两个所述夹持板(5041)表面 设有定位头(5045), 且定位头(5045)套设并滑动于直线丝杆(505)表面, 两个所述夹持板(5041)顶部两端贯穿 有连接螺栓(5043), 所述连接螺栓(5043)底端连接安装有固定头(5042), 所述连接螺栓 (5043)顶端螺纹连接有固定 螺母(5044)。 4.根据权利要求1所述的基于信号传输优化的集成电路制造设备, 其特征在于: 所述第 一夹持臂(5)与第二夹持臂(6)结构 完全相同, 所述第一夹持臂(5)和第二夹持臂(6)水平 位 置于上压台(8)与下压台(9)之间。 5.根据权利要求1所述的基于信号传输优化的集成电路制造设备, 其特征在于: 所述底 部托架(10)顶端安装有液压缸(11), 所述下压台(9)底端设有升降板(13), 所述升降板(13) 底端贯穿工作台(1)表 面, 所述升降板(13)底端对称设有液压杆(12), 且 液压杆(12)底端与 液压缸(11)活动 连接, 所述升降板(13)表面安装有第一传感器(14), 且第一传感器(14)与 升降板(13)电性连接 。 6.根据权利要求1所述的基于信号传输优化的集成电路制造设备, 其特征在于: 所述清 理箱(4)底部连接安装有顶部托架(18), 所述顶部托架(18)表 面安装有气缸(19), 所述气缸 (19)底端设有气杆(20), 且气杆(20)一端与气缸(19)底端活动 连接, 另一端与清理座(21) 顶端连接, 所述清理座(21)底端设有清理软毛(22), 所述清理软毛(22)通过清理座(21)和 气杆(20)配合与输送板(16)顶面接触。 7.根据权利要求1所述的基于信号传输优化的集成电路制造设备, 其特征在于: 所述清 理箱(4)两端内壁对称设有排风管(23), 两个所述排风管(23)顶端顶端 连接有进风管(24), 所述进风管(24)顶端与输风机(26)底端连接, 两个所述排风管(23)相邻一端阵列有喷头 (25), 且喷头(25)与排 风管(23)连通, 且喷头(25)底部角度倾 斜45度。 8.根据权利要求1所述的基于信号传输优化的集成电路制造设备, 其特征在于: 所述输 送台(3)顶端安装有第二传感器(15), 所述第二传感器(15)与清理座(21)对齐设置, 所述输权 利 要 求 书 1/2 页 2 CN 115318688 A 2送板(16)两端连接有侧壁滑板(17), 两个所述侧壁滑板(17)插入并滑动连接于输送台(3) 内壁两端。权 利 要 求 书 2/2 页 3 CN 115318688 A 3

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