(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210812564.X (22)申请日 2022.07.12 (71)申请人 太原市立科致 业科技有限公司 地址 030024 山西省太原市万柏林区晋祠 路一段8号中海国际中心 23层2303 (72)发明人 付学超　 (74)专利代理 机构 沧州市宏科专利代理事务所 (普通合伙) 13134 专利代理师 喻慧玲 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) H01L 21/683(2006.01) B08B 1/00(2006.01) B08B 3/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种智能 电子检测仪加工用半导体晶圆清 理设备 (57)摘要 本发明涉及晶圆加工设备的技术领域， 特别 是涉及一种智能电子检测仪加工用半导体晶圆 清理设备， 包括两个吸盘， 两个吸盘上下对称， 并 且所述吸盘 保持水平状态， 所述吸盘表面均匀连 通设置有多个吸孔， 所述吸盘的外侧呈环形均匀 设置有多个导水仓， 所述导水仓倾斜， 所述导水 仓的侧壁上均匀设置有多个喷水孔， 所述喷水孔 的方向倾斜朝向另一个吸盘表 面； 该设备可实现 对晶圆的自动清洗工作， 提高自动化程度， 有效 降低晶圆所受冲击力， 方便对晶圆进行保护， 同 时方便对晶圆进行全面清洗处理， 避免杂质残 留， 有效提高清洗效果， 提高实用性。 权利要求书2页 说明书7页 附图7页 CN 114899132 A 2022.08.12 CN 114899132 A 1.一种智能电子检测仪加工用半导体晶圆清理设备， 其特 征在于， 包括： 两个吸盘 （1） ， 两个吸盘 （1） 上下对称， 并且所述吸盘 （1） 保持水平状态， 所述吸盘 （1） 表 面均匀连通设置有多个吸孔， 所述 吸盘 （1） 的外侧呈环形均匀设置有多个导水仓 （2） ， 所述 导水仓 （2） 倾斜， 所述导水仓 （2） 的侧壁上均匀设置有多个喷水孔， 所述 喷水孔的方向倾斜 朝向另一个吸盘 （1） 表面； 刷辊 （3） ， 所述刷辊 （3） 横向位于 两个吸盘 （1） 之间。 2.如权利要求1所述的一种智能电子检测仪加工用半导体晶圆清 理设备， 其特征在于， 所述吸盘 （1） 的外表 面设置有圆形槽板 （4） ， 所述吸盘 （1） 上的吸孔与所述圆形槽板 （4） 内部 连通， 所述圆形槽板 （4） 的外端 连通设置有第一导气筒 （5） ， 所述第一导气筒 （5） 内部滑动套 装有第二 导气筒 （6） ， 所述第一 导气筒 （5） 与所述第二 导气筒 （6） 连通； 还包括外箱体 （7） ， 所述外箱体 （7） 位于吸盘 （1） 、 导水仓 （2） 、 刷辊 （3） 、 圆形槽板 （4） 、 第 一导气筒 （5） 和第二导气筒 （6） 的外侧， 所述第二导气筒 （6） 的外端固定在所述外箱体 （7） 的 内壁上， 所述第一导气筒 （5） 上设置有推动机构， 所述推动机构用于推动第一导气筒 （5） 在 第二导气筒 （6） 上滑动； 所述外箱体 （7） 的外壁上开设有料口， 所述外箱体 （7） 上的料口上铰接有盖板 （8） ， 所述 外箱体 （7） 底部连通设置有排水 管 （9） ； 所述外箱体 （7） 的外侧壁上设置有二位三通电磁阀 （10） ， 所述二位三通电磁阀 （10） 的 输入端和两个输出端 上均连通设置有第一气管 （11） ， 所述二位三通电磁阀 （10） 输入端 上的 第一气管 （11） 与外界气泵连通， 所述二位三通电磁阀 （10） 两个输出端上的两个第一气管 （11） 分别与两个第二 导气筒 （6） 连通。 3.如权利要求2所述的一种智能电子检测仪加工用半导体晶圆清 理设备， 其特征在于， 所述第一导气筒 （5） 外壁上转动套装有环形导气槽板 （12） ， 所述环形导气槽板 （12） 与所述 第一导气筒 （5） 内部连通， 所述环形导气槽板 （12） 的圆周外壁上均匀连通设置有多根弧形 滑套 （13） ， 所述弧形滑套 （13） 内滑动设置有弧形导水管 （14） ， 所述弧形导水管 （14） 的外端 与所述导水仓 （2） 连接， 并且所述弧形导水管 （14） 与所述导水仓 （2） 连通， 所述弧形滑套 （13） 内的所述弧形导水管 （14） 端部密封， 所述弧形导水管 （14） 的外壁上设置有板簧 （15） ， 所述板簧 （15） 的外端固定在所述弧形滑套 （13） 上； 所述弧形滑套 （13） 内的所述 弧形导水管 （14） 外壁上开设有导水孔， 所述弧形滑套 （13） 的外壁上连通设置有第一水管 （16） ， 所述第一水管 （16） 输出端通过所述弧形导水管 （14） 上 的导水孔与所述弧形导水 管 （14） 内部连通； 多根第一水管 （16） 的输入端设置有第一环形导水槽板 （17） ， 所述第一水管 （16） 与所述 第一环形导水槽板 （17） 连通， 所述第一环形导水槽板 （17） 的外侧滑动设置有第二环形导水 槽板 （18） ， 所述第二环形导水槽板 （18） 与所述第一环形导水槽板 （17） 连通， 所述第二环形 导水槽板 （18） 固定在所述推动机构上， 所述第二环形导水槽板 （18） 的圆周外壁连通设置有 第二水管 （19） ， 所述第二水 管 （19） 的输入端与外界水泵连通； 所述环形导气槽板 （12） 上设置有动力机构， 所述动力机构用于带动环形导气槽板 （12） 转动。 4.如权利要求3所述的一种智能电子检测仪加工用半导体晶圆清 理设备， 其特征在于， 所述推动机构包括托盘 （20） ， 所述托盘 （20） 安装在所述第一导气筒 （5） 的外壁上， 并且 所述权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114899132 A 2第二环形导水槽板 （18） 安装在所述托盘 （20） 上， 所述托盘 （20） 的外壁上均匀设置有多组第 一气缸 （21） ， 所述第一气缸 （21） 的固定端安装在所述外箱体 （7） 的内壁上。 5.如权利要求4所述的一种智能电子检测仪加工用半导体晶圆清 理设备， 其特征在于， 所述动力机构包括套设在所述第一导气筒 （5） 外侧的外齿环 （22） ， 所述外齿环 （22） 固定在 所述环形导气槽板 （12） 上， 所述外齿环 （22） 的外侧啮合设置有第一齿轮 （23） ， 所述托盘 （20） 上设置有电机 （24） ， 所述电机 （24） 的输出端与所述第一齿轮 （23） 传动连接 。 6.如权利要求5所述的一种智能电子检测仪加工用半导体晶圆清 理设备， 其特征在于， 还包括两组移动机构， 两组移动机构分别安装在所述刷辊 （3） 的两端， 所述移动机构用于带 动刷辊 （3） 在两个吸盘 （1） 之间进行纵向移动； 所述移动机构包括导轨 （25） ， 所述导轨 （25） 位于所述外箱体 （7） 内， 并且所述导轨 （25） 保持纵向， 所述导轨 （25） 的一侧壁上竖向滑动设置有两根滑杆 （26） ， 所述滑杆 （26） 固定在 所述外箱体 （7） 的内侧壁上， 所述导轨 （25） 的上下两侧均匀设置有多个伸缩气杆 （27） ， 所述 伸缩气杆 （27） 的固定端安装在所述外箱体 （7） 的内侧壁上， 所述伸缩气杆 （27） 的固定端连 通设置有第二气管 （28） ， 所述第二气管 （28） 的外端 连通安装在所述二位三通电磁阀 （10） 输 出端上的第一气管 （1 1） 上； 所述导轨 （25） 的另一侧壁上滑动设置有滑块 （29） ， 所述刷辊 （3） 的端部转动安装在所 述滑块 （29） 上， 所述刷辊 （3） 上设置有第二齿轮 （30） ， 所述导轨 （25） 的底部设置有齿条 （31） ， 所述第二齿轮 （3 0） 与所述齿条 （31） 啮合连接； 所述滑块 （29） 的顶部设置有立杆 （32） ， 所述立杆 （32） 上滑动套装有滑套 （33） ， 所述滑 套 （33） 上安装有第二气缸 （34） ， 所述第二气缸 （34） 的固定端安装在所述外箱体 （7） 上。 7.如权利要求6所述的一种智能电子检测仪加工用半导体晶圆清 理设备， 其特征在于， 所述圆形槽板 （4） 的圆周内壁设置为锥形， 所述圆形槽板 （4） 内部设置有锥形封板 （35） ， 所 述锥形封板 （35） 的一侧表 面与所述吸盘 （1） 接触并对 所述吸盘 （1） 上的吸孔封堵， 所述锥形 封板 （35） 的另一侧表 面均匀设置有多根弹簧 （36） ， 所述弹簧 （36） 的外端固定在所述圆形槽 板 （4） 的内壁上。 8.如权利要求7所述的一种智能电子检测仪加工用半导体晶圆清 理设备， 其特征在于， 所述托盘 （20） 上均匀开设有 多个排水孔 （37） 。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114899132 A 3