SN 中华人民共和国出入境检验检疫行业标准 SN/T 3480.3—2016 进口电子电工行业成套设备检验技术要求 第3部分：平板显示器制造专用设备 Technical requirements for the inspection of complete set of equipment in electronic and electrical industry for import-Part 3:Machinery and equipment for flat panel display 行业标准信息服务平台 2016-08-23发布 2017-03-01实施 中华人民共和国 发布 国家质量监督检验检疫总局 SN/T 3480.3—2016 前 言 SN/T3480《进口电子电工行业成套设备检验技术要求》共分为4个部分： 第1部分：印刷线路板表面贴装设备； 一第2部分：电线电缆制造专用设备； 一第3部分：平板显示器制造专用设备； 一第4部分：半导体封装测试设备。 本部分为SN/T3480的第3部分。 本部分按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本部分由国家认证认可监督管理委员会提出并归口。 本部分起草单位：中华人民共和国厦门出入境检验检疫局、中华人民共和国江苏出人境检验检 疫局。 本部分主要起草人：颜伟民、钟碧菊、黄滢涵、姜克、游聚民、曾志峰、魏或展、陈靖源、蓝振毅、甘露、 朱黄鑫。 行业标准信息服务平台 1 SN/T3480.3—2016 进口电子电工行业成套设备检验技术要求 第3部分：平板显示器制造专用设备 1范围 SN/T3480的本部分规定了进口平板显示器制造专用设备的检验技术要求 本部分适用于平板显示器制造专用设备（参见附录A、附录B)的检验，该范围之外的平板显示器制 造专用设备亦可参照使用。 2规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T3797—2005电气控制设备 GB5959.1一2005电热装置的安全第1部分：通用要求 GB/T17626.1电磁兼容试验和测量技术抗扰度试验总论 GB/T20801（所有部分）压力管道规范工业管道 SN/T3700—2013进出口成套设备检验技术要求通则 中华人民共和国特种设备安全法（中华人民共和国主席令第四号） 特种设备安全监察条例（中华人民共和国国务院令第549号） 3术语和定义 SN/T3700一2013界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 平板显示器 flatpanel display,FPD 显示屏对角线的长度与整机厚度之比大于4：1的显示器件。 3.2 平板显示器制造专用设备machineryandequipmentforflatpaneldisplay 服务平台 制造平板显示器所使用的具有该行业工艺特点的专用设备。 4技术要求 4.1 总要求 应符合SN/T3700—2013中4.1的要求。 4.2安全项目要求 4.2.1机械安全要求 应符合SN/T3700—2013中4.2.2的要求。 1 SN/T3480.3—2016 4.2.2电气安全要求 4.2.2.1应符合SN/T3700—2013中4.2.3的要求。 要求。 4.2.2.4磁控溅射设备应有防止触电的保护设施，且应符合GB/T3797—2005中4.12.1.2的要求；介 电强度应符合GB/T3797—2005中4.8的要求；绝缘电阻应符合GB/T3797—2005中4.8的要求；应 有专用的铜缆接地装置；电控柜的安全接地保护应符合GB/T3797一2005中4.10.6的要求。 4.2.2.5曝光机的绝缘电阻≥2MQ；初级电路与机壳之间的耐压测试应能承受1500V交流电压，测 试时间1min，测试漏电流设定1.0mA，不得发生击穿和放电现象。 4.2.2.6晶片压着机和软性电路板压着机的接地电阻<52 4.2.3安全防护装置、警示方式要求 4.2.3.1应符合SN/T3700—2013中4.2.4的要求。 4.2.3.2化学气相淀积（CVD)设备应具备温度偏差报警提示功能、流量偏差报警提示功能、反应室 （管）压力异常报警提示及安全防护措施、停水报警及联锁措施、防止误操作的安全保护措施。 4.2.4非机械安全要求 4.2.4.1应符合SN/T3700—2013中4.2.5的要求。 4.2.4.2化学气相淀积（CVD)设备应具备超温报警及安全防护措施、断偶报警及安全防护措施。 4.2.5物质和材料安全要求 4.2.5.1应符合SN/T3700—2013中4.2.6的要求。 4.2.5.2化学气相淀积（CVD)设备反应残余气体应使用强排风装置排出净化间，如果反应气体为有毒 有害等危险气体，或者反应生成物中包括粉尘、有毒有害等危险物质，则应加装报警和尾气处理装置。 反应气体断开时，安全保护气体（如N2）应畅通，冷却水应畅通。 4.2.5.3磁控溅射设备应设有水流报警装置。 4.2.5.4等离子清洗设备的真空系统、气路系统、反应仓和管路的密封性应良好。 4.2.5.5干刻机的真空系统中机械泵、扩散泵性能稳定、可靠、运行正常，无异常振动、噪音。真空管路 整齐、清洁，联接牢固可靠，密封性好，无泄漏。高温腔体必须有保护外罩。 4.2.5.6显影设备在进行显影、漂洗和烘干时，每道工序的基片周围均应有氮气保护设施；应具有氮气 欠压保护功能。当氮气压力低于设备的设定值时，设备应立刻报警，并停正工作。应具有真空保护功 能。当真空度压力高于设备设定值时，设备应立刻报警，并停止工作。显影烘干处应设置防尘罩。 4.2.5.7特殊气体供应及管道系统和化学品供应及管道系统应符合《中华人民共和国特种设备安全法》 《特种设备安全监察条例》和GB/T20801的相关要求。 4.2.6人类工效学要求 应符合SN/T3700一2013中4.2.7的要求。 4.2.7使用信息要求 应符合SN/T3700—2013中4.2.8的要求 2