ICS 23.160 JB J78 备案号： 中华人民共和国机械行业标准 JB/T10550--2006 真空技术 真空烧结炉 Vacuum technology--- Vacuum sinteringfurnace 2006-05-06发布 2006-10-01实施 中华人民共和国国家发展和改革委员会发布 JB/T10550—2006 目 次 前言. 1范围. 2规范性引用文件 3术语和定义， 4型式与基本参数 4.1型号 4.2真空炉的主要参数 5技术要求.. 5.1 一般要求 5.2 对设计和制造的补充要求 5.3 性能要求， 5.4 成套要求. 5.5 安全. 6测量方法 6.1 极限压力的测量 6.2 抽气时间的测量 6.3 升压率的测量... 6.4 最高温度的测量 工作温度的测量.… 6.5 6.6 炉温均匀性的测量 真空炉控温精度的测量（不含单点控温） 6.7 6.8 测量仪器、仪表， 检验规则.. 7.1 一般要求， 出厂检验. 7.2 7.3 型式检验 8标志、包装、运输和贮存 8.1 标志 8.2 包装 8.3运输. 8.4贮存 9 订购， JB/T105502006 前 言 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口。 本标准起草单位：沈阳真空技术研究所。 本标准主要起草人：庞丹阳、康宁、张晶宇。 本标准为首次发布。 Ⅱ JB/T10550—2006 真空技术真空烧结炉 1范围 本标准规定了内热式电阻加热式真空烧结炉（以下简称真空炉）的型式与基本参数、技术要求、测 量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及订购等。 本标准适用于真空状态下材料通过加热、加热和机械压力或加热和气体压力作用，使相邻晶粒通过 粘着和扩散而烧结成零件的真空炉。 2规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的 修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GB5959.1电热设备的安全第1部分通用要求 GB5959.4电热设备的安全第4部分对电阻炉的通用要求（GB5959.4--1992，eqVEC 60519-2:1975) GB/T10066.1—2004电热设备的试验方法第1部分通用部分（EC60398：1999，MOD） GB/T10067.1-1988电热设备基本技术条件通用部分 GB/T10067.4一1988电热设备基本技术条件间接电阻炉 3术语和定义 下列术语和定义适用于本标准。 3.1 极限压力ultimatepressure 在空炉冷态情况下，用真空炉本身配套的真空系统对干燥的真空炉腔抽空所能达到的一一个趋向稳定 的最低压力。 3.2 升压率rateofpressurerise 将干燥的真空炉腔连续抽气至极限压力，截止抽气15min后，测得真空炉腔由于漏气及内部放气 造成的单位时间的压升。 3.3 抽气时间pump-downtime 真空系统正常工作时，将干燥的空炉从大气压（10'Pa）抽到规定的压力所需的时间。 4型式与基本参数 4.1型号 真空炉型号编制方法如下： 基本型号一辅助型号 ZSD -X,X2X3 “乙”代表“真空”，以中文“真空”的第一个字母“乙”表示。 “S”代表“烧结”，以中文“烧结”的第一个字母“S”表示。 - JB/T10550-2006 “D”代表“电阻”，以中文“电阻加热”的第一个字母“D”表示。 “X，”代表真空炉均温区的尺寸（以宽度或直径的百分之一表示）。 真空炉均温区的最小宽度或直径为100mm。 真空炉的宽度与高度相同，真空炉的宽度或直径以100mm递增。 “x²”代表真空炉的均温区长度（单位为mm）。 “X”代表真空炉的型式，以“W”表示卧式炉，“L”表示立式炉，“F”表示复合式炉。 示例1：均温区为600mm×600mm×1200mm的卧式真空烧结炉型号应为ZSD-6-1200W。 示例2：均温区为?600mm×1200mm的立式真空烧结炉型号应为ZSD-6-1200L。 4.2真空炉的主要参数（见表1） 表 1 参数名称 参数值 极限压力Pa 1~10 抽气时间（空炉冷态不含扩散泵等预热时间） min ≤30 升压率Pa/h L9'0> 最高温度℃ 2400 工作温度℃ 500~2400 炉温均匀性℃ ±5 控温精度℃ ±1 5 技术要求 5.1一般要求 真空炉应符合GB/T10067.1一1998第5章的规定。 5.2对设计和制造的补充要求 5.2.1总体设计 5.2.1.1真空炉主要由炉体、真空系统、加热系统、电源、防爆系统、控制系统等组成。 5.2.1.2卧式真空炉的炉体端部开口，在水平方向进料和出料，加热室底部有支承炉料的底架。立式 真空炉炉体在上端部或下端部开口，在水平方向装料和出料，在垂直方向进料，加热室底部有支承炉料 的底架。 5.2.1.3在真空炉加热前，真空系统应能把炉室抽到预定的压力。在加热阶段，输人功率应能调节。 在冷却阶段，炉料在加热室内应能在不同压力下和中性气体（包括惰性气体，下同）中冷却。 5.2.2材料 所有处于加热室内部的材料应适应于设计规定的气氛、压力和温度。各种材料在工作温度下对真空 炉自身不造成损坏。 5.2.3炉壳 炉壳应采用双层水冷壁结构。炉壳内表面应光洁平滑。内壁可用抗氧化材料制成，也可用普通碳素 钢，但应该抛光。 5.2.4炉门 除另有要求外（见9.2)，卧式炉的炉门可支承在炉壳的左侧而从右往左打开，也可采用其他结构。 立式炉的炉门应能在水平方向滑动或旋开。炉门上应有玻璃观察窗。当对炉门有特殊要求时，可按9.2 提出。 5.2.5加热系统 真空炉的加热区应围以绝热屏，绝热屏应为各种保温材料或金属屏。所用的材料应是耐热的，在工 作中不下垂、开裂或剥离。 2 JB/T10550—2006 炉床应采用其性能与真空炉工作条件相适应的材料制成。在真空炉的整个工作温度范围内，炉床应 能承受最大装载量而不损坏或无明显变形。当要求为真空炉配备进出料装置时，可按9.2提出。 在炉壳体上应配备供测量炉温均匀性用的热电偶引出装置。 5.2.6水冷系统 水冷系统应能使炉壳的筒体、封头和炉门的表面温升不超过5.3.3的规定。对局部超过并且操作人 员易接近的部位应加以防护并加以警示。 5.2.7风冷换热系统 真空炉应能充人保护性气体，并配备必要的风机或气体喷嘴、控制阀及换热器等，用来使气体循环 通过炉料和炉室，均匀地冷却炉料。 5.2.8真空系统 真空炉的真空系统由真空泵、管道、阀门、冷阱、波纹管、控制系统、真空计等组成。系统中应装 有自动阀门，以便在泵突然停止运转或发生停电时自动关闭，并将大气放人前级机械泵腔中，防止真空 泵油逆流污染真空系统。当要求在系统中配备粉尘捕集器或过滤器时，可按9.2提出。 5.2.9测量、控制和记录 5.2.9.1真空炉的测量，控制和记录应符合GB/T10067.4一1998中5.2.7中除5.2.7.4和5.2.7.6的各项 规定和以下补充规定。 5.2.9.2炉温控制系统可以是磁性调压器或晶闸管型式，具有陡降的外特性，控制系统应能限制输人 功率不超过所要求的最大值。 真空炉应配备温度给定精度不低于0.1%，分辨率不低于1℃的微处理器数字显示式控温仪表。仪 表应备有外接模拟发送端口，以便连接记录仪。 5.2.9.3真空炉应配备数字显示式真空仪表，其范图应从10°Pa到极限压力。 5.2.9.4压力和温度记录仪表应当配备打印式或无纸式记录仪。 5.2.9.5真空炉应配备程序控制器，以供编程，并按所编程序自动地控制真空、加热和冷却的全过程。 每台真空炉应能在加热时，在任何设定温度下通过充入保护性气体把炉室内压力提高到所要求的 值。加热速率和时间应可调。加热后的冷却过程应符合5.2.7要求。 控制系统应配备微处理器或可编程序控制器，以便在真空炉设计规定范围内有最大的控制灵活性。 微处理器或可编程序控制器应具有不少于60个读写随机存取记忆程序段，程序可用键盘输入。 除自动控制系统外，真空炉还应配有手动控制系统，以备试验时或紧急情况下使用。 5.2.9.6真空炉应配备落地式、在制造厂接好线(仪表可除外)的控制装置，用来安装仪表和控制元器件 等。控制系统中至少应有两套熔断器或断路器：一套用于加热元件的供电，另一套用于泵、电动机和控 制系统的供电。应有模拟屏以指示真空炉的运行情况。所有控制线缆都应该封装在电缆桥架盒内或镀锌 金属穿线软管内，无法封装的线缆应该用绝缘材料绝缘并配有显著的警示标志。当要求为控制装置配备 振动吸收装置时，可按9.2提出。 5.2.10充放气系统 真空炉的充放气系统由管路、阀门、气压表等组成。 真空炉的充放气系统应有两路，一路为自动，一路为手动。在突然断电时可通过手动向炉内充入保 护性气体。若要求在充放气系统中配备气体流量计，可按9.2提出。 5.2.11防爆系统 真空炉应配备防爆系统，用来防止充气时炉内压力过高损坏炉子。 5.3性能要求 真空炉的性能应符合GB/T10067.4一1998中5.3和以下各条要求。 5.3.1最大装载量 真空炉的最大装载量应按机械设计所规定装载量的80%取值。 3 JB/T10550—2006 5.3.2空炉加热时间 在炉温等于环境温度的条件下，起动真空系统。当炉内达到预定的压力时开始加热。炉温应能在加 热开始后1h内上升到1100℃。对最高温度为1100℃（含1100